[发明专利]一种多晶硅铸锭用熔炼装置有效
申请号: | 201910042101.8 | 申请日: | 2019-01-17 |
公开(公告)号: | CN109883196B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 李广森 | 申请(专利权)人: | 安徽华顺半导体发展有限公司 |
主分类号: | F27B14/00 | 分类号: | F27B14/00;F27B14/10;F27B14/14;F27B14/08 |
代理公司: | 34141 合肥汇融专利代理有限公司 | 代理人: | 张雁 |
地址: | 239300 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外箱体 搅拌叶 搅拌轴 绞龙轴 坩埚炉 蜗杆 多晶硅铸锭 环形齿条 熔炼装置 转动连接 电动机 传动轴 连接杆 缺齿轮 上料筒 阻料板 涡轮 绞龙 传动轴转动 传动连接 涡轮转动 顶端面 输出端 熔炼 延伸 应用 | ||
1.一种多晶硅铸锭用熔炼装置,包括装置主体、辅助烘干机构(2)和间歇性下料机构(7),其特征在于:所述装置主体包括外箱体(1)、上料口一(3)、蜗杆(4)、电动机(5)、上料口二(6)、坩埚炉(8)、石座(10)、支腿(11)、搅拌叶(12)和搅拌轴(13),所述支腿(11)设置在外箱体(1)下端面,所述坩埚炉(8)设置在外箱体(1)内部底端面,且贯穿外箱体(1)底端面,所述石座(10)设置在坩埚炉(8)底端,所述上料口一(3)和上料口二(6)对称开设于外箱体(1)顶端面,所述电动机(5)设置在外箱体(1)顶端面,所述蜗杆(4)转动连接在外箱体(1)内部顶端面,且与电动机(5)的输出端传动连接,所述搅拌轴(13)与蜗杆(4)固定连接,所述搅拌叶(12)设置在搅拌轴(13)上,且搅拌叶(12)延伸至坩埚炉(8)内部;
所述辅助烘干机构(2)设置在外箱体(1)内部,所述辅助烘干机构(2)包括辅助烘干组件(21)和涡轮(22),所述涡轮(22)转动连接在外箱体(1)内部,所述辅助烘干组件(21)设有两个,两个所述辅助烘干机构(2)对称设置在外箱体(1)内部涡轮(22)两侧,所述辅助烘干组件(21)包括上料筒(211)、绞龙轴(213)、绞龙叶(214)和出料口(215),所述上料筒(211)设置在外箱体(1)内部,所述绞龙轴(213)转动连接在上料筒(211)内部,且与涡轮(22)固定连接,所述绞龙叶(214)设置在绞龙轴(213)上,所述上料筒(211)环形侧面靠下部位置内端开设有出料口(215);
所述间歇性下料机构(7)包括阻料板(71)、连接杆(72)、环形齿条(73)、缺齿轮(74)和传动轴(75),所述传动轴(75)转动连接在外箱体(1)内部,所述缺齿轮(74)设置在传动轴(75)上,所述环形齿条(73)滑动连接在外箱体(1)内部,所述环形齿条(73)通过连接杆(72)与阻料板(71)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用熔炼装置,其特征在于:所述支腿(11)设有四个,四个所述支腿(11)分别设置在外箱体(1)下端面四个棱角处。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用熔炼装置,其特征在于:所述搅拌叶(12)设有若干组,若干组所述搅拌叶(12)呈环形等距排布于搅拌轴(13)环形侧面,且整体结构呈等腰梯形。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用熔炼装置,其特征在于:所述涡轮(22)与蜗杆(4)相啮合,所述传动轴(75)与绞龙轴(213)通过同步带传动连接。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用熔炼装置,其特征在于:两个所述上料筒(211)均通过导料口(212)分别与上料口一(3)和上料口二(6)相连接。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用熔炼装置,其特征在于:所述上料筒(211)环形侧面靠下部位置设置有导热板。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用熔炼装置,其特征在于:所述坩埚炉(8)下端面中心位置连接内腔开设有物料出口,且物料出口内部设置有孔塞销(9)。
8.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用熔炼装置,其特征在于:所述外箱体(1)内部设置有供环形齿条(73)滑动的条形滑轨。
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