[发明专利]一种稀土金属旋转靶材及其制造方法在审
| 申请号： | 201910041197.6 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109536909A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 肖世洪;雷雨;周志宏;肖世文;沈艳斌;周昭寅 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/04;B22F3/10 |
| 代理公司： | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 颜德昊 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 稀土金属 旋转靶材 制备 烧结 靶材 稀土金属粉末 放入 素胚 模具 钕铁硼永磁材料 制备方法工艺 规模化生产 冷等静压机 金属圆管 平均粒径 机加工 矫顽力 良品率 烧结炉 毛坯 绑定 耗能 装入 保温 稀土 加工 制造 | ||
1.一种稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、制备平均粒径D50为10-80μm的稀土金属粉末；
S2、将稀土金属粉末装入冷等静压管状柔性模具中；
S3、将柔性模具放入冷等静压机内压制成型，得到素胚；
S4、将压制好的素胚放入真空烧结炉或惰性气体保护的烧结炉中烧结，烧结温度为800-1400℃，保温时间10-80小时；
S5、对烧结好的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度，加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。
2.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，稀土金属为Dy或者Dy/Tb或者Tb或者Pr。
3.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述柔性模包括外部的软胶材料和内部钢芯，所述软胶材料的材质选自聚氨酯、硅橡胶、PVC、氯丁橡胶中的一种。
4.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中，冷等静压机中成型压力为100-400Mpa，保压时间300-1800秒。
5.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中，真空烧结炉的真空度为1x10-1-1x10-3，惰性气体保护的烧结炉中惰性气体保持在0.2-0.8Mpa。
6.根据权利要求1所述的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤S5中，金属圆管为铜管、不锈钢管、钛管或者以上金属的合金管。
7.一种稀土金属旋转靶材，其特征在于，该稀土金属旋转靶材采用1-6任一项所述的制备方法制得。
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