[发明专利]一种OLED用ITO蚀刻液及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201910039183.0 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109575922A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 傅华;刘兵;高小云 | 申请（专利权）人： | 苏州晶瑞化学股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 215124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻液 制备方法和应用 蚀刻 加工工艺参数 表面活性剂 金属材料 化学蚀刻 去离子水 蚀刻加工 现有设备 原料制备 制备工艺 混合酸 消泡剂 质量份 钾盐 铵盐 伤害 | ||
1.一种OLED用ITO蚀刻液，其特征在于：由以下原料制备而成，原料按照质量份数组成，混合酸1-10份、铵盐0.05-0.08份、钾盐0.1-0.2份、表面活性剂0.01-2份、消泡剂0.01-0.1份、去离子水100份。
2.根据权利要求1所述的一种OLED用ITO蚀刻液，其特征在于：所述的混合酸包括邻氟苯甲酸、草酸、乙酸，质量比例为1-3：4-8：4-8。
3.根据权利要求1所述的一种OLED用ITO蚀刻液，其特征在于：所述的铵盐，为以下物质中的一种或多种混合物：乙酸铵、草酸铵、苯甲酸铵、硫酸铵、硝酸铵、碳酸铵、氯化铵、碳酸氢铵、硫酸氢胺。
4.根据权利要求1所述的一种OLED用ITO蚀刻液，其特征在于：所述的表面活性剂为磷酸盐型双子表面活性剂、磷酸酯盐型双子表面活性剂中的一种或多种混合。
5.根据权利要求4所述的一种OLED用ITO蚀刻液，其特征在于：所述的磷酸盐型双子表面活性剂为双十二烷氧基双磷酸钠盐、双十二烷氧基双磷酸钾盐中的一种或两种混合，所述磷酸酯盐型双子表面活性剂为对苯二甲基双辛烷基磷酸酯钾盐、对苯二甲基双十二烷基磷酸酯钾盐、对苯二甲基双十六烷基磷酸酯钾盐、对苯二甲基双辛烷基磷酸酯钠盐、对苯二甲基双十二烷基磷酸酯钠盐、对苯二甲基双十六烷基磷酸酯钠盐中的一种或两种混合。
6.根据权利要求1所述的一种OLED用ITO蚀刻液，其特征在于：所述消泡剂为异辛醇、异戊醇、二乙基己醇、二异丁基甲醇一种或多种混合。
7.根据权利要求1所述的一种OLED用ITO蚀刻液，其特征在于：所述的钾盐为氯化钾、硝酸钾中的一种或两种混合。
8.根据权利要求1或7所述的一种OLED用ITO蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：常温常压下，将去离子水加入容器中；在搅拌状态下，按照配比依次加入混合、铵盐、钾盐、表面活性剂、消泡剂；搅拌至完全溶解并均匀，然后过滤，过滤采用0.5-1μm的过滤器，最后出料。
9.根据权利要求1或8所述的一种OLED用ITO蚀刻液的应用，其特征在于，用于蚀刻OLED的ITO导电膜。
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