[发明专利]一种用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片及其应用和三氟化氮的检测方法有效
| 申请号： | 201910037343.8 | 申请日： | 2019-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN109870408B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 尹强;苏启源;毛沅文;周阳;林景辉;贾相锐 | 申请（专利权）人： | 广东省计量科学研究院（华南国家计量测试中心）;佛山市南华仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/3504 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 任重 |
| 地址： | 510080 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 色散 红外 检测 氟化 滤光 及其 应用 方法 | ||
1.一种用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述滤光片由表面镀有氟化钡的硅片和蓝宝石滤光片组成；
所述表面镀有氟化钡的硅片中氟化钡的厚度为0.4～1.0mm；所述蓝宝石滤光片的厚度为0.4～0.6mm；
所述滤光片透射波长范围为10～12μm。
2.根据权利要求1所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述表面镀有氟化钡的硅片中氟化钡的厚度为1.0mm；所述蓝宝石滤光片的厚度为0.6mm。
3.根据权利要求1所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述滤光片对波长为11μm的红外光的透过率最强。
4.根据权利要求3所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片，其特征在于，所述滤光片对波长为11μm红外光的透过率为85％～100％。
5.一种利用非色散红外仪检测三氟化氮的方法，其特征在于，采用权利要求1～4任一所述用于非色散红外检测三氟化氮的滤光片。
6.根据权利要求5所述利用非色散红外仪检测三氟化氮的方法，其特征在于，以MEMS辐射源为辐射光源，光源以Si3N4为材料，覆盖波长范围2～14μm，对外辐射功率＞500mW。
7.根据权利要求5所述的非色散红外仪检测三氟化氮的方法，其特征在于，红外探测测试器采用非制冷型的钽酸锂晶体为材料的热释电探测器；典型响应率为3.5KV/W，响应典型温度系数为-0.1％/K。
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