[发明专利]一种深海照明LED光源装置及制备方法

权利要求书

1.一种深海照明LED光源装置的制备方法，其特征在于，包括：

在热沉材料的端面，利用真空离子溅射，形成金属基层；

在所述金属基层的表面，利用反应溅射法，形成梯度过渡层；

在所述梯度过渡层的表面，利用射频等离子体化学气相沉积法，形成硅铜共掺杂的类金刚石薄膜；

在所述类金刚石薄膜的表面，利用喷涂方法，形成电路层；

在所述电路层的表面，利用射频等离子体化学气相沉积法，形成绝缘层，所述绝缘层为类金刚石薄膜；

在所述绝缘层上设置灯珠。

2.根据权利要求1所述的深海照明LED光源装置的制备方法，其特征在于，在热沉材料的端面，利用真空离子溅射，形成纯钛层之前，还包括：

对热沉材料进行溅射清洗。

3.根据权利要求2所述的深海照明LED光源装置的制备方法，其特征在于，所述在所述梯度过渡层的表面，利用射频等离子体化学气相沉积法，形成硅铜共掺杂的类金刚石薄膜，具体包括：

在所述梯度过渡层的表面通入碳源气体，通过射频辉光放电，分解碳源气体，在自偏压作用下，分解物持续沉积到所述梯度过渡层的表面上，形成硅铜共掺杂的类金刚石薄膜。