[发明专利]感光器件、X射线探测器及医用设备有效
申请号: | 201910030104.X | 申请日: | 2019-01-11 |
公开(公告)号: | CN109860329B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 卓恩宗 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/115 | 分类号: | H01L31/115;H01L31/0224;H01L27/144;H01L27/146;A61B6/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光 器件 射线 探测器 医用 设备 | ||
1.一种感光器件,其特征在于,所述感光器件包括:
感光层,所述感光层由多个填充物堆叠而成,所述填充物为均匀分布的纳米孔结构,且所述纳米孔结构内填充有气态硒;
第一电极,所述第一电极设于所述感光层的入光侧;
第二电极,所述第二电极设于所述感光层的出光侧。
2.根据权利要求1所述的感光器件,其特征在于,所述纳米孔结构的孔直径为2nm~10nm。
3.根据权利要求2所述的感光器件,其特征在于,所述填充物由SixOy形成。
4.根据权利要求1所述的感光器件,其特征在于,所述第一电极为透明电极,所述第二电极为金属电极。
5.一种X射线探测器,其特征在于,所述X射线探测器包括基板以及如权利要求1-4任一项所述的感光器件,所述感光器件设于所述X射线探测器的入光侧,以感知X射线的光强度,并转换成电信号;
所述X射线探测器还包括:
信号读取元件,所述信号读取元件设于所述基板上且与所述感光器件电连接,以接收并读取所述感光器件转换后的电信号。
6.根据权利要求5所述的X射线探测器,其特征在于,所述X射线探测器还包括保护层,所述保护层填充于所述信号读取元件与所述感光器件之间的空隙,将所述信号读取元件与外界环境隔离。
7.根据权利要求6所述的X射线探测器,其特征在于,所述保护层的厚度为500nm~2000nm。
8.根据权利要求6所述的X射线探测器,其特征在于,所述感光器件的第二电极穿透所述保护层与所述信号读取元件的漏极电连接;
且/或,所述感光器件的第二电极通过导线与所述信号读取元件的漏极电连接。
9.一种医用设备,其特征在于,包括如权利要求5-8任一项所述的X射线探测器。
10.根据权利要求9所述的医用设备,其特征在于,所述医用设备还包括成像装置,所述成像装置与所述信号读取元件电连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的