[发明专利]一种基于石墨烯的光电探测器在审
申请号: | 201910022504.6 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN109755333A | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 宁提纲;贺雪晴;裴丽;郑晶晶;李晶;王创业;许建 | 申请(专利权)人: | 北京交通大学 |
主分类号: | H01L31/028 | 分类号: | H01L31/028;H01L31/09;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人: | 王玉 |
地址: | 100044 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米梳 纳米导线 负电极 石墨烯 正电极 光电探测器 纳米带 齿身 横截 频谱探测 灵敏度 齿端 搭接 | ||
本发明实施例提供一种基于石墨烯的光电探测器,其特征在于,包括石墨烯纳米带、正电极、负电极、正电极纳米导线、负电极纳米导线、正纳米梳齿和负纳米梳齿,所述正纳米梳齿和所述负纳米梳齿搭接在所述石墨烯纳米带上,所述正纳米梳齿通过所述正电极纳米导线与正电极连接,所述负纳米梳齿通过所述负电极纳米导线与负电极连接,所述正纳米梳齿或所述负纳米梳齿中的每个齿包括齿端和齿身,所述齿端的横截宽度大于所述齿身的横截宽度。从而实现了更高的灵敏度和更宽的频谱探测范围。
技术领域
本发明涉及光电探测领域,具体而言,涉及一种基于石墨烯的纳米级光电探测器。
背景技术
由于红外辐射的波长介于可见光与微波之间,人眼察觉不到。因此,利用红外探测器可以实现对目标进行远距离热状态图像成像和测温,并可进行智能分析与判断。在工业自动控制、遥感成像、医学诊断、环境监测、光通信等领域中,红外光电探测技术都是核心技术。另外,随着无线电技术和雷达探测技术的飞速发展,电子和通信设备向着高灵敏度、高频率和多样化的趋势发展,导致军用电子设备的电磁辐射可能被对方侦查。因此,发展新型的光电探测技术是强军强国的重要途径之一。再者,随着红外探测器件的迅速发展、生产成本的下降,红外探测技术也被广泛应用于工业、农业、医学、交通等各个行业,如工厂机器检测、电力在线检测、铁路车辆轴温探测、焊接板材检测、矿产资源勘探、地下矿井测温测气、农作物长势及病虫害监测、环保监测、医学诊断等。但是传统的红外探测器,虽然性能优异,但材料制备困难,且材料在低温下工作,探测器成本高。例如,基于半导体纳米结构的光子红外探测器,受到了探测器材料尺寸等技术因素的制约,此类光电子器件的性能仍不能满足使用需要。
石墨烯是单层碳原子按照蜂窝状结构排列的二维材料,自从实验上被分离出来以后,由于其优异的电子学,光学,热学,力学等性质,引起了全球研究者的极大兴趣。石墨烯与光有强的相互作用。尽管石墨烯的厚度仅为0.33nm,从近红外到可见光波段,悬空的未掺杂石墨烯可以吸收2.3%的垂直入射光,而且在中红外到太赫兹波段,掺杂之后的石墨烯的吸收率可以达到70%。基于石墨烯的光电探测器利用了石墨烯材料的宽光谱吸收特性(紫外至远红外)、室温下超高的载流子迁移率、良好的机械柔韧性和环境稳定性等优异性能,使得具有超宽谱、超快、非制冷、大面阵、柔性和长寿命等优点,有望打破现有的红外探测瓶颈,为新型红外探测技术提供一个好的研究平台。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的