[发明专利]一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置在审

专利信息
申请号: 201910021586.2 申请日: 2019-01-10
公开(公告)号: CN109769370A 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 孙权;刘大福;莫德锋;王煜宇;徐勤飞;余利泉;王镇;龚海梅 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: H05K7/20 分类号: H05K7/20
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 深低温 大功率电阻 电阻阵列 冷却装置 阵列芯片 制冷功率 循环冷却介质 场景 光学窗口 换热装置 进出液口 内部集成 内部循环 同时装置 芯片表面 循环液体 制冷需求 出液口 换热室 进液口 冷却液 排气管 排气口 热失配 真空泵 除气 盖帽 结霜 芯柱 液氮 制冷 冷却 流出
【权利要求书】:

1.一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置,包括芯柱(1)、外壳(2)、管帽固定螺钉(3)、管帽(4)、窗口固定支架(5)、光学窗口(6)、窗口支架固定螺钉(7)、窗口密封圈(8)、电阻阵列芯片(9)、换热装置(10)和芯柱密封圈(11),其特征在于:

外壳(2)置于芯柱(1)上部,焊接密封并固定;外壳(2)的环形槽内放置环形密封圈(203),然后放置管帽(4),外壳(2)与管帽(4)通过8个M1.6管帽固定螺钉(3)对应穿过外壳(2)上的φ1.8通孔(204)并与管帽(4)上的8个M1.6螺孔(403)螺接;管帽(4)上的环形槽内安放窗口密封圈(8),并与其上依次放置光学窗口(6)、窗口固定支架(5),利用4个M1.6窗口支架固定螺钉(7)对应穿过窗口固定支架(5)上的φ1.8通孔(501)并与管帽(4)上的4个M1.6螺孔(404)螺接;进出液管(1001)与换热装置底板(1002)焊接连接,换热室(1003)、换热装置底板(1002)焊接密封,其整体换热装置(10)与芯柱(1)焊接连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置,其特征在于:所述的芯柱(1)选用304L不锈钢,机加工成薄壁,薄壁厚度为0.15-0.2mm,长度为40-60mm;在薄壁底部采用环形结构以连接外壳(2),底部厚度3-5mm;环形结构底面有用于安装芯柱密封圈(11)的槽道。

3.根据权利要求1所述的一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置,其特征在于:所述的外壳(2)选用柯伐合金,在外壳(2)上部加工8个与管帽(4)位置对应的φ1.8的通孔(204),与管帽(4)定位安装的面上有放置环形密封圈(203)的环形槽道(205),壳体(201)与真空插座(202)焊接密封并固定。

4.根据权利要求1所述的一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置,其特征在于:所述的管帽(4)选用柯伐合金,并于侧面开一直径为8mm、用于焊接抽气铜管(402)的通孔。

5.根据权利要求1所述的一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置,其特征在于:所述的换热装置(10)由进出液管(1001)、换热装置底板(1002)、换热室(1003)三部分组成,换热室(1003)采用钼,换热装置底板(1002)采用柯伐合金,换热室(1003)中有98个按2.0mm×2.0mm阵列排布的扰流柱(1004),每个扰流柱大小为:长2.0mm,宽2.0mm,高5.0mm。

6.根据权利要求1所述的一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置,其特征在于:所述的窗口密封圈(8)、芯柱密封圈(11)和环形密封圈(203)选用聚四氟乙烯材料。

7.根据权利要求1所述的一种用于深低温场景数百瓦制冷功率的电阻阵列冷却装置,其特征在于:所述的管帽(4)和窗口固定支架(5)选用柯伐合金材料。

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