[发明专利]等离子体电源装置的自我诊断模块及自我诊断方法

权利要求书

1.一种等离子体电源装置的自我诊断模块，作为等离子体电源装置的自我诊断模块，包括：

仿真负载电阻，其为了所述等离子体电源装置的自我诊断而位于所述等离子体电源装置的内部，连接于等离子体电源装置终端部，在等离子体电源装置进行自我诊断时，等离子体电源装置输出端构成闭合电路；

测试电流施加部，其为了确认所述等离子体电源装置的正常运转，向所述仿真负载电阻输入等离子体电源装置运行电流；

数据收集部，其从在所述等离子体电源装置的构成部件及电路的输入输出节点配备的诊断传感器收集自我诊断数据,所述自我诊断数据包括根据施加于所述等离子体电源装置的测试电流而测量的输入输出电流、电压、温度、有无运转中的至少一个；

判断部，其将从所述数据收集部接受传递的自我诊断数据与预先设置值进行比较，判断所述等离子体电源装置各个构成部件及电路是否故障；

所述测试电流施加部为了确认所述等离子体电源装置的构成部件及电路各自是否正常运转，个别地控制所述等离子体电源装置的各个构成部件及电路的电源；

所述测试电流施加部设置包括仿真负载电阻值、要诊断的构成部件及电路、输入电流值中任意一个在内的测试条件，将由所述设置的测试条件决定的测试电流施加于所述要诊断的构成部件及电路，将根据所述施加的测试电流及电压而测量的自我诊断数据传递给所述判断部；

所述判断部调整根据包括所述仿真负载电阻值、要诊断的构成部件及电路、输入电流值中任意一个在内的测试条件而施加的测试电流值，比较从多个诊断传感器接受传递的测量值与预先设置值的比率，算出所述等离子体电源装置的构成部件与电路各自的收率。

2.根据权利要求1所述的等离子体电源装置的自我诊断模块，其特征在于，

所述等离子体电源装置的构成部件包括转换器、滤波器、逆变器、变压器，

所述诊断传感器在构成等离子体电源装置的转换器、滤波器、逆变器、变压器及转换电路与放大电路的输入输出节点构成。

3.根据权利要求1所述的等离子体电源装置的自我诊断模块，其特征在于，

所述判断部将从多个诊断传感器接受传递的测量值中任意一个以上与预先设置值进行比较，根据比较结果，判断进行异常运转的等离子体电源装置的构成部件和电路。

4.根据权利要求1所述的等离子体电源装置的自我诊断模块，其特征在于，

所述测试电流施加部在接受选择所述等离子体电源装置的要确认是否异常的构成部件及电路的情况下，向所述选择的构成部件及电路输入测试电流。