[发明专利]一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器在审
| 申请号： | 201910018409.9 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109813681A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 胡国华;杨嘉豪;朱渊;恽斌峰;张若虎;崔一平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210033 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导 环型 微环谐振器 液体折射率 嵌套型 传感器 直波导 耦合区 内圈 液体折射率检测 嵌套 高品质因子 高灵敏度 光子集成 低误差 减小 应用 | ||
1.一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：该液体折射率传感器包括直波导和嵌套型微环谐振器，嵌套型微环谐振器由外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)嵌套组成，外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)之间通过波导对波导且带有间距的连接形成第二耦合区(5-2)；直波导位于外圈第一环型波导(3)的外侧，与外圈第一环型波导(3)构成带有间隔的耦合区。
2.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的直波导为两个单模直波导，二者对称平行分布于外圈第一环型波导(3)的上下两侧，作为底部直波导(1)和顶部直波导(2)，且与外圈第一环型波导(3)处于同一平面，底部直波导(1)与外圈第一环型波导(3)构成带有间隔的第一耦合区(5-1)，顶部直波导(2)与外圈第一环型波导(3)构成带有间隔的第三耦合区(5-3)，且第一耦合区(5-1)和第三耦合区(5-3)的间隔距离相同。
3.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的嵌套型微环谐振器由外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)嵌套组成中，外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)形状相同，且嵌套方式为几何中心重叠嵌套。
4.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)均为跑道型环型波导。
5.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的直波导、外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)的宽度为300nm～450nm。
6.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的直波导、外圈第一环型波导(3)和内圈第二环型波导(4)波导的材料均为SOI材料，即绝缘体衬底上硅材料，且绝缘体衬底上硅材料中顶层硅的厚度为200nm～250nm。
7.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述的底部直波导(1)的一端作为该液体折射率传感器的光波输入端，另一端作为该液体折射率传感器的光信号输出端。
8.如权利要求1所述的一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器，其特征在于：所述基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器中所有的波导直接与待测液体接触。
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