[发明专利]硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构

说明书

本发明公开一种硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构，系统包括有计算机、光源装置、摄像头以及通用型积分球结构；该通用型积分球结构包括有本体、活动件、滤光片以及驱动机构；该本体内具有一球形空腔，本体上开设有一进光孔和一出光孔，该进光孔和出光孔均连通球形空腔；该活动件可活动地设置于本体上并位于进光孔的侧旁，各滤光片均设置于活动件上随活动件活动而交替正对进光孔；该驱动机构设置于本体上并带动活动件活动。通过利用驱动机构带动活动件活动，使各滤光片可以随活动件活动而交替正对进光孔，以选择不同波长的光源进入球形空腔，从而使得积分球可以产生不同的光源来满足不同产品的检测要求，通用性强，为检测作业带来便利。

技术领域

本发明涉及检测设备领域技术，尤其是指一种硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构。

背景技术

晶片或晶柱等硅晶材料制作完成后均需要进行检测，以检测其是否存在气泡、针孔等缺陷，检测时主要配合光源和摄像头，为了能够达到检测，照射到检测工件上的光源需要非常分散，现有技术中，主要透过积分球来进行光线的分散。然而，不同的硅晶材料需要使用不同波长的光源，目前的积分球只能产生一种波长的光源，当需要更换另一种光源时，需要对外部的光源装置进行更换，通用性不好，给检测作业带来麻烦。并且，由于光源会衰减，在检测过程中无法及时知晓光源衰减，从而导致检测结果不准确。因此，有必要研究一种方案，以解决上述问题。

发明内容

有鉴于此，本发明针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构，其能有效解决现有之积分球通用性不好并且无法及时知晓光源衰减的问题。

为实现上述目的，本发明采用如下之技术方案：

一种通用型积分球结构，包括有一本体、一活动件、至少两个过滤不同光波的滤光片以及一驱动机构；该本体内具有一球形空腔，本体上开设有一进光孔和一出光孔，该进光孔和出光孔均连通球形空腔；该活动件可活动地设置于本体上并位于进光孔的侧旁，各滤光片均设置于活动件上随活动件活动而交替正对进光孔；该驱动机构设置于本体上并带动活动件活动。

作为一种优选方案，所述进光孔位于本体的侧面，该出光孔位于本体的顶部。

作为一种优选方案，所述本体的侧面还开设有连通球形空腔的光源取样孔。

作为一种优选方案，所述活动件为圆盘结构，该活动件可转动地安装在本体的外侧面上，活动件的表面周缘开设有多个安装孔，各滤光片嵌于对应的安装孔中固定，该驱动机构带动活动件转动。

作为一种优选方案，所述本体上具有安装座，该活动件位于安装座上，安装座上开设有连接孔，该连接孔正对进光孔并位于滤光片的外侧面。

作为一种优选方案，所述活动件的周侧面设置有齿牙，该驱动机构为电机，该电机的输出轴上安装有齿轮，该齿轮与齿牙啮合。

作为一种优选方案，所述出风孔上覆盖有防尘玻璃。

作为一种优选方案，所述本体包括有下半壳和上半壳，该上半壳与下半壳拼接而围构形成前述球形空腔。

一种硅晶材料检测系统，包括有计算机、光源装置、摄像头以及前述通用型积分球结构；该光源装置、摄像头和驱动机构均连接计算机，光源装置的出光口正对通用型积分球结构的进光孔并位于滤光片的外侧，该摄像头正对通用型积分球结构的出光孔。

作为一种优选方案，进一步包括有光谱仪，该光谱仪连接计算机，光谱仪的进光口连通通用型积分球结构的光源取样孔。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知：

一、通过利用驱动机构带动活动件活动，使各滤光片可以随活动件活动而交替正对进光孔，以选择不同波长的光源进入球形空腔，从而使得积分球可以产生不同的光源来满足不同产品的检测要求，通用性强，为检测作业带来便利。