[发明专利]自发光自成像MEMS微镜

说明书

本发明提供了一种自发光自成像MEMS微镜，利用可见光发射单元发射可见光光线，利用图像获取单元获取物体的图像信息数据。其中，MEMS扫描微镜芯片上集成了可见光发射单元、图像获取单元，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而向外界发出可见光光束或接受外界的反射的可见光光束光束，利用反射镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态图像的分辨率和清晰度；同时实现动态发光，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。

技术领域

本发明涉及图像获取技术领域，具体涉及一种自发光自成像MEMS微镜。

背景技术

现有的各种图像获取装置，一般采用光源输出，反射镜反射，在于反射镜 不同个光路上，采用图像获取器件获取物体反射光束信号。由于图像获取器件 与反射镜相分离，导致光束能量消耗，信号失真。而且，所得到的图像获取装 置体积较大，不利于小型化和轻薄化。

随着人们生活水平的提高和科技的进步，各种电子设备越来越倾向于小型 化和轻薄化，便于携带。而且对于获取的图像质量要求越来越高，对于图像的 获取速度和传输速度也迫切要求提高。

因此，顺应时代的要求，研究轻薄化且快速获取高质量的图像装置技术是 非常重要的。

发明内容

为了克服以上问题，本发明旨在提供一种自发光自成像MEMS微镜，利用 MEMS扫描微镜上集成可见光光发射单元和图像获取单元，实现图像的快速扫 描和获取。

为了达到上述目的，本发明提供了一种自发光自成像MEMS微镜，包括：

MEMS扫描微镜芯片，包含反射镜；反射镜悬浮在整个芯片中；

可见光发射单元，设置于反射镜中，用于向外界发射光束；其中，MEMS 扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，可见发射单元随之摆动并发射出随 之摆动的可见光束，从而实现动态发光；所述可见光束达到外界物体并反射回 来，所述反射镜同时接收反射回来的可见光束；

图像获取单元，设置于反射镜中，用于获取外界的反射回来的可见光光束， 并生成可见光图像信息；并且与外界电路元件相电连，通过外界电路元件来反 馈图像信息数据；其中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，接 收外界的反射回来的可见光光束一次。

优选的，所述反射镜通过磁场悬浮在整个芯片中；或者所述MEMS扫描微 镜芯片还具有扭臂；所述反射镜通过扭臂悬架在整个芯片中。

优选的，还包括：计算单元；根据图像信息数据进行计算得到温度图像信 息数据。

优选的，还包括传输接口，用于将温度图像信息数据传输到外界电路单元； 所述可见光光源为可见光激光光源；所述传输接口为USB接口。

优选的，所述图形获取单元为白光图像传感器、可见光图像传感器或二者 混合图像传感器。

优选的，所述图像获取单元中设置无线通讯模块；所述图像获取单元通过 无线通讯信号与外界电路元件相电连。

优选的，所述图像获取单元连接有传输电路，传输电路与所述扭臂相复合， 利用传输扭臂提供的路径与外界电路元件相连。

优选的，所述芯片具有沟槽，所述扫描微镜置于所述沟槽中，并且通过扭 臂连接所述扫描微镜外围的芯片部分；所述扫描微镜通过扭臂进行扭转。

优选的，环绕所述反射镜的所述芯片具有互连电路；所述互连电路连接所 述反射镜、所述可见光发射单元和所述图像获取单元；所述芯片至少还包括：

处理器，与所述扫描微镜、所述可见光发射单元和所述图像获取单元分别 相电连，用于处理所述扫描微镜的驱动逻辑、所述可见光发射单元的逻辑和所 述图像获取单元的信息传输逻辑；