[发明专利]一种和频振动光谱相位测量装置

权利要求书

1.一种和频振动光谱相位测量装置，其特征在于，包括：

光束输入单元、标准样品单元、第一光向改变单元、待测样品单元、第二光向改变单元、频信号偏振控制单元和频信号探测单元；

其中，所述光束输入单元，用于接收红外光和可见光，以及调整所述红外光和所述可见光投射到所述标准样品单元的入射角度，其中，所述红外光和所述可见光的入射角度不同；

所述标准样品单元，用于接收不同入射角度的所述红外光和所述可见光，并在其表面产生和频信号光，以及将所述红外光、所述可见光和所述和频信号光反射到第一光向改变单元；

所述第一光向改变单元，用于改变所述红外光、所述可见光和所述和频信号光的光向，并以不同的入射角度投射到所述待测样品单元，同时控制所述红外光、所述可见光和所述和频信号光之间的光程差；

所述待测样品单元，用于接收所述红外光、所述可见光和所述和频信号光，并在界面产生另一束所述和频光，并将两个表面产生的所述和频信号光投射到所述第二光向改变单元；

所述第二光向改变单元，用于改变所述和频信号光的光向，并将所述和频信号光投射给和频信号偏振控制单元；

所述和频信号偏振控制单元，用于控制所述和频信号的偏振方向，并将具有特定偏振方向的和频信号输入到信号探测单元；

所述信号探测单元，用于探测所述和频信号。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束输入单元，包括：

第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜和第四平面反射镜；

其中，所述第一平面反射镜和所述第三平面反射镜沿竖直方向分布设置，且在所述第一平面反射镜和所述第三平面反射镜之间设置有第一凸透镜；

所述第二平面反射镜和所述第四平面反射镜沿竖直方向分布设置，且在所述第二平面反射镜和所述第四平面反射镜之间设置有第二凸透镜。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一光向改变单元，包括：

第一抛物面镜、第二抛物面镜、第五平面反射镜和第六平面反射镜；

其中，所述第一抛物面镜与所述第五平面反射镜焦距一致；

所述第五平面反射镜和所述第六平面反射镜沿水平方向分布设置；

所述第二抛物面镜与所述第六平面反射镜垂直对应设置。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第五平面反射镜和所述第六平面反射镜之间还设置有硒化锌楔形延迟器和熔融石英片延迟器。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二光向改变单元至少包括：

第七平面反射镜、第八平面反射镜和第九平面反射镜；

其中，所述第七平面反射镜、所述第八平面反射镜和所述第九平面反射镜均用于改变所述和频信号光的光向。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述和频信号偏振控制单元，包括：

半波片、格兰棱镜、凸透镜和滤波片。