[发明专利]半导体装置在审
| 申请号: | 201910011106.4 | 申请日: | 2019-01-07 |
| 公开(公告)号: | CN110931553A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
| 发明(设计)人: | 岩鍜治阳子;末代知子;诹访刚史 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
| 主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 高迪 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,
具备:
半导体层,具有第1面及与上述第1面对置的第2面;
发射极电极,设置在上述半导体层的上述第1面侧;
集电极电极,设置在上述半导体层的上述第2面侧;
第1栅极电极,设置在上述半导体层的上述第1面侧;
第2栅极电极,设置在上述半导体层的上述第2面侧;
第1导电型的漂移区域,设置在上述半导体层中;
第2导电型的集电极区域,在上述半导体层中设置在上述漂移区域与上述第2面之间的一部分处,一部分与上述第2栅极电极对置,一部分与上述集电极电极接触;以及
第1导电型的区域,在上述半导体层中设置在上述集电极区域与上述第2面之间的一部分处,一部分与上述第2栅极电极对置,一部分与上述集电极电极接触;
在将上述集电极电极与上述集电极区域接触的部分定义为接触面,
将存在于上述接触面中的线段上、且距上述第2栅极电极最远的点定义为第2点,上述线段在位于上述接触面的第1点与最近的上述第2栅极电极的连线上,
将上述第2点与距上述第2点最近的上述第2栅极电极之间的距离定义为有效栅极距离的情况下,
具有第1有效栅极距离及与上述第1有效栅极距离不同的第2有效栅极距离。
2.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
上述接触面存在多个。
3.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
还具备设置在上述漂移区域与上述第2面之间、第1导电型杂质浓度比上述漂移区域高的第1导电型的缓冲区域。
4.如权利要求3所述的半导体装置,其特征在于,
上述缓冲区域具有位于上述第2栅极电极与上述漂移区域之间的第1区域、和位于上述集电极电极与上述漂移区域之间的第2区域,上述第1区域的第1导电型杂质浓度比上述第2区域的第1导电型杂质浓度高。
5.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
在与上述第2面垂直的截面中,上述集电极电极和上述第2栅极电极交替地配置,上述集电极电极在上述截面中具有不同的宽度。
6.如权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
当从接通状态对上述第1栅极电极施加不到阈值电压的电压而向断开状态转移时,在对上述第1栅极电极施加不到阈值电压的电压之后,设置时间差,而向上述第2栅极电极施加阈值电压以上的电压,上述接通状态中对上述第1栅极电极施加了阈值电压以上的电压。
7.一种半导体装置,其特征在于,
具备:
半导体层,具有第1面及与上述第1面对置的第2面;
发射极电极,设置在上述半导体层的上述第1面侧;
第1集电极电极,设置在上述半导体层的上述第2面侧;
第2集电极电极,设置在上述半导体层的上述第2面侧;
第1栅极电极,设置在上述半导体层的上述第1面侧;
第2栅极电极,设置在上述半导体层的上述第2面侧;
第1导电型的漂移区域,设置在上述半导体层中;
第2导电型的第1集电极区域,在上述半导体层中设置在上述漂移区域与上述第2面之间的一部分处,一部分与上述第2栅极电极对置,一部分与上述第1集电极电极接触;
第1导电型的区域,在上述半导体层中设置在上述第1集电极区域与上述第2面之间的一部分处,一部分与上述第2栅极电极对置,一部分与上述第1集电极电极接触;以及
第2导电型的第2集电极区域,在上述半导体层中设置在上述漂移区域与上述第2面之间的一部分处,一部分与上述第2集电极电极接触;
上述第2集电极电极的与上述第2面接触的部分全部与上述第2集电极区域接触。
8.如权利要求7所述的半导体装置,其特征在于,
上述第1集电极区域与上述第2集电极区域接触。
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