[发明专利]一种基于FTO/TiO2有效

专利信息
申请号: 201910003336.6 申请日: 2019-01-03
公开(公告)号: CN109728122B 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 尹博;阮圣平;周敬然;刘彩霞;董玮;张歆东;郭文滨;沈亮;温善鹏;张德重 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/18
代理公司: 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 代理人: 刘世纯;王恩远
地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 fto tio base sub
【权利要求书】:

1.一种基于FTO/TiO2/MoO3异质结的紫外探测器,其特征在于:从下到上由SiO2/FTO衬底、在FTO上制备的TiO2纳米线(3)和Ag电极、在TiO2纳米线上制备的MoO3纳米层(4)、在MoO3纳米层(4)上制备的Ag电极组成,待测的紫外光从SiO2/FTO衬底一侧入射;且该探测器由如下步骤制备得到,

(1)衬底的处理

将SiO2/FTO衬底依次浸入丙酮、乙醇、去离子水中超声处理10~20分钟,用氮气吹干,再将SiO2/FTO衬底置于紫外臭氧环境中处理10~20分钟,从而得到清洁的SiO2/FTO衬底;

(2)FTO/TiO2纳米线异质结的制备

室温下,将0.5~1mL钛酸四丁酯逐滴滴入10mL甲苯中,使钛酸四丁酯分散均匀,得到溶液A;再量取0.1~0.2mL四氯化钛加入到溶液A中,并使四氯化钛分散均匀,得到溶液B;然后量取0.5~1mL、质量分数36%~38%的盐酸逐滴滴入到溶液B中,每一滴盐酸反应完全后再滴入下一滴盐酸,得到溶液C;将清洁后的SiO2/FTO衬底FTO面朝下倾斜插入但不完全浸入溶液C中并用镊子按压使其固定,密封且130~180℃下水热反应5~6小时,降至室温后取出SiO2/FTO衬底,并使FTO面朝上,在室温、空气条件下自然风干,从而得到FTO/TiO2纳米线异质结;

(3)纳米MoO3的制备

室温条件下,将0.5~1g醋酸铵和1~1.5g硫脲溶于50~100mL无水乙醇中,搅拌20~30分钟使其溶解;接着,向其中加入0.5~1g柠檬酸继续搅拌,直至溶液澄清;将得到的溶液密封且180~220℃下水热反应20~24小时后自然降至室温,将所得沉淀分别用乙醇和去离子水洗涤3~5次,并置于50~80℃条件下烘干;最后,将烘干得到的粉末在400~500℃下煅烧1.5~5小时,得到纳米MoO3

(4)异质结中MoO3纳米层的制备

将步骤(3)制备的纳米MoO3加入到甲醇中,超声3~5分钟使分散均匀,得到1mg/mL的纳米MoO3悬浊液;将该悬浊液以3000~5000转/分钟的速度旋涂在FTO/TiO2纳米线上,旋涂时间为20~50秒,然后在180~220℃下退火0.5~2小时,得到FTO/TiO2/MoO3异质结;

(5)制备Ag电极

使用带有镂空圆形图案的掩膜版,分别在FTO和MoO3上滴Ag导电胶并引出Ag线,在80~120℃下干燥8~20分钟,在FTO和MoO3纳米层上得到两个圆形Ag电极,从而制备得到基于FTO/TiO2 /MoO3异质结的紫外光探测器。

2.如权利要求1所述的一种基于FTO/TiO2/MoO3异质结的紫外探测器,其特征在于:SiO2/FTO衬底的厚度为2~3mm,TiO2纳米线的厚度为2~3μm,MoO3纳米层的厚度为2~5nm,Ag电极的厚度为1~3mm。

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