[发明专利]一种减少基板边缘弯曲的新型工作台装置在审
申请号: | 201910002111.9 | 申请日: | 2019-01-02 |
公开(公告)号: | CN111390844A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 张浩 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | B25H1/00 | 分类号: | B25H1/00 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 减少 边缘 弯曲 新型 工作台 装置 | ||
本发明涉及基板加工领域,具体公开了一种减少基板边缘弯曲的新型工作台装置,针对现有的基板加工工作台结构单一,导致基板边缘弯曲的问题,现提出如下方案,其包括上板和下板,所述上板与下板的四个拐角之间均转动连接有转动杆,所述转动杆的圆周侧壁固定套设有转动板,所述转动板的底端设有滑槽,且滑槽呈弧形结构设置,所述滑槽的两侧内壁之间连接有导向杆,所述下板的顶端连接有四个结构相同的滑块,所述滑块与滑槽适配。本发明结构新颖,且该装置能够改正以往的工作台结构单一的缺点,从而使其能够对不同结构尺寸的基板进行加工操作,对基板的边缘进行支撑,能够有效的减少基板边缘弯曲程度,保证基板的正常使用,适宜推广。
技术领域
本发明涉及基板加工领域,尤其涉及一种减少基板边缘弯曲的新型工作台装置。
背景技术
现有的芯片键合工程,在工作台上作业不同产品时,由于工作台结构较为单一,因此在对不同尺寸的基板进行加工时,容易导致其边缘产生弯曲,从而影响基板正常使用,因此,为了解决此类问题,我们提出了一种减少基板边缘弯曲的新型工作台装置。
发明内容
本发明提出的一种减少基板边缘弯曲的新型工作台装置,解决了现有的基板加工工作台结构单一,导致基板边缘弯曲的问题。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种减少基板边缘弯曲的新型工作台装置,包括上板和下板,所述上板与下板的四个拐角之间均转动连接有转动杆,所述转动杆的圆周侧壁固定套设有转动板,所述转动板的底端设有滑槽,且滑槽呈弧形结构设置,所述滑槽的两侧内壁之间连接有导向杆,所述下板的顶端连接有四个结构相同的滑块,所述滑块与滑槽适配,且滑动连接,所述滑块的两侧壁之间贯通设置有呈弧形设置的通孔,且滑块滑动套设在导向杆的圆周侧壁上,所述导向杆的圆周侧壁套设有弹簧,且弹簧的一端与滑槽的内壁连接,且弹簧的另一端与滑块的侧壁连接。
优选的,所述上板上均匀贯通设置有结构相同的真空孔。
优选的,所述上板的四角均贯通设置有销孔,所述转动板上贯通设置有呈弧形结构设置的固定孔,固定孔与销孔结构相同,且均滑动安装有销钉。
优选的,所述下板的底端四角均连接有支撑柱,支撑柱的底端安装有万向轮,且万向轮上设有锁死结构。
优选的,所述转动板呈四分之一圆形结构设置。
本发明的有益效果为:通过支撑柱、下板、转动板、转动杆。上板、销钉、滑槽、导向杆、滑块、销孔、真空孔、固定孔、弹簧的设置,使得该装置能够改正以往的工作台结构单一的缺点,从而使其能够对不同结构尺寸的基板进行加工操作,对基板的边缘进行支撑,能够有效的减少基板边缘弯曲程度,保证基板的正常使用。
综上所述,该装置能够改正以往的工作台结构单一的缺点,从而使其能够对不同结构尺寸的基板进行加工操作,对基板的边缘进行支撑,能够有效的减少基板边缘弯曲程度,保证基板的正常使用,适宜推广。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的俯视图。
图3为本发明的下板的俯视图。
图4为本发明的转动板打开的结构示意图。
图5为本发明的转动板的仰视图。
图中标号:1支撑柱、2下板、3转动板、4转动杆、5上板、6销钉、7滑槽、8导向杆、9滑块、10销孔、11真空孔、12固定孔、13弹簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
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