[发明专利]扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜，其具有：悬臂，其设置有接触或接近试样的表面的探针；以及位移检测器，其检测表示所述悬臂的位移的信号，该扫描探针显微镜取得一边根据所述信号将所述悬臂与所述试样的表面之间的规定的物理量维持恒定一边使所述探针沿着所述试样的表面相对地扫描时所获取的测定数据，其特征在于，该扫描探针显微镜还具有：

分布像计算单元，其计算所述测定数据的一维或二维的第一分布像和所述测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像；以及

显示控制单元，其指示所述分布像计算单元计算所述第一分布像和所述第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的该分布像，

所述显示控制单元在显示所述第一分布像和所述第二分布像双方时，同时显示同一位置的所述测定数据和所述差分数据。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，

所述扫描探针显微镜还具有计算方向指定单元，该计算方向指定单元指定计算所述第一分布像和所述第二分布像时的数据的计算方向，

所述分布像计算单元沿着由所述计算方向指定单元指定的所述计算方向来计算第一分布像和所述第二分布像中的要在所述显示单元显示的分布像。

3.根据权利要求1或2所述的扫描探针显微镜，其中，

所述扫描探针显微镜还具有相减顺序指定单元，该相减顺序指定单元指定计算所述第二分布像时的相邻的数据的差分的相减顺序，

所述分布像计算单元按照由所述相减顺序指定单元指定的相减顺序来计算所述第二分布像。

4.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜，其中，

所述显示控制单元按照扫描方向或所述计算方向的每条线来显示所述测定数据和/或所述差分数据。

5.一种扫描探针显微镜，其具有：悬臂，其设置有接触或接近试样的表面的探针；以及位移检测器，其检测表示所述悬臂的位移的信号，该扫描探针显微镜取得一边根据所述信号将所述悬臂与所述试样的表面之间的规定的物理量维持恒定一边使所述探针沿着所述试样的表面相对地扫描时所获取的测定数据，其特征在于，该扫描探针显微镜还具有：

分布像计算单元，其计算所述测定数据的一维或二维的第一分布像和所述测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像；

显示控制单元，其指示所述分布像计算单元计算所述第一分布像和所述第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的该分布像；

计算方向指定单元，其指定计算所述第一分布像和所述第二分布像时的数据的计算方向；以及

相减顺序指定单元，其指定计算所述第二分布像时的相邻的数据的差分的相减顺序，

所述分布像计算单元沿着由所述计算方向指定单元指定的所述计算方向来计算第一分布像和所述第二分布像中的要在所述显示单元显示的分布像，

所述分布像计算单元按照由所述相减顺序指定单元指定的相减顺序来计算所述第二分布像，

所述显示控制单元按照沿着扫描方向或所述计算方向的每个差分数据依次显示所述第二分布像，

当在所述第二分布像的显示期间由所述计算方向指定单元和/或所述相减顺序指定单元指定了所述计算方向和/或所述相减顺序时，所述分布像计算单元根据所指定的所述计算方向和/或所述相减顺序来计算所述第二分布像。

6.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，

所述分布像计算单元根据所指定的所述计算方向和/或所述相减顺序来重新计算基于该指定前的所述测定数据的所述第二分布像，

所述显示控制单元使所述重新计算出的所述第二分布像和所述指定后的所述第二分布像一同显示。

7.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，

所述显示控制单元按照扫描方向或所述计算方向的每条线来显示所述测定数据和/或所述差分数据。