[发明专利]作为致动器的弯曲换能器、作为传感器的弯曲换能器、以及弯曲换能器系统在审
| 申请号： | 201880100132.8 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN113195399A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 赫尔曼·谢尔克;伯特·凯瑟;卢茨·埃里格 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H02N1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 作为 致动器 弯曲 换能器 传感器 以及 系统 | ||
1.一种具有可偏转元件(110,110a-n,1120,1220,1300)的作为致动器的弯曲换能器(100,100a-n,730a-n)，包括
·沿着所述可偏转元件的质心纤维(130,130a)延伸的微机电换能器(141,141a-b,1016a)，当施加第一电信号(US,US1,USignal,USignal1)时所述微机电换能器在第一方向(161,161b)上使所述可偏转元件(110,110a-n,1120,1220,1300)偏转，以及
·沿着所述质心纤维(130,130a)延伸的第二微机电换能器(142,142a-b,1016b)，当施加第二电信号(US,US2,USignal,USignal2)时所述第二微机电换能器在与所述第一方向相反的第二方向(162,162b)上使所述可偏转元件偏转，
所述质心纤维(130,130a)位于彼此背对的第一微机电换能器和第二微机电换能器(141,141a-b,142,142a-b,1016a,1016b)的侧面之间，以及
电控制件(120,1013a)，被配置为根据输入信号(UE,UEa-UEd,Uin,Uin1-Uin3)改变所述第一电信号(US,US1,USignal,USignal1)和所述第二电信号(US,US2,USignal,USignal2)，使得所述第一电信号(US,US1,USignal,USignal1)的变化和所述第二电信号(US,US2,USignal,USignal2)的变化取决于所述电输入信号(UE,UEa-UEd,Uin,Uin1-Uin3)，且所述第一电信号和第二电信号(US,US1,US2,USignal,USignal1,USignal2)的相位相对于彼此偏移。
2.根据权利要求1所述的弯曲换能器(100,100a-n,300,300a-n,730a-n,840,840a-n)，其中所述第一微机电换能器(141,141a-b,1016a)和所述第二微机电换能器(142,142a-b,1016b)包括沿着所述可偏转元件的纵向方向分段(169)的板电容器。
3.根据权利要求2所述的弯曲换能器(100,100a-n,300,300a-n,730a-n,840,840a-n)，其中第一板电容器和第二板电容器的电极(151-154,151a-154a)被配置为交叉指型。
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