[发明专利]各向异性地形成的衍射光栅设备

权利要求书

1.一种制造衍射光栅的方法，所述方法包括：

形成从衬底延伸的脊的阵列，所述脊彼此平行延伸并具有三角形横截面，使得所述脊的第一侧面面向第一方向，并且所述脊的相邻第二侧面面向不同的第二方向；

在所述脊的阵列的所述第一侧面上形成光栅线的阵列，所述光栅线的阵列中的每个光栅线包括由所述脊的阵列中的相应脊的所述第一侧面支撑的透明材料的平板；和

以空间变化的方式选择性地去除所述光栅线的阵列的所述透明材料的至少一部分，以产生具有空间变化的占空比的光栅线的阵列；

其中，所述光栅线的阵列的折射率不同于所述脊的阵列的折射率。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述光栅线的阵列上形成涂覆层，所述涂覆层具有与所述衬底相对的平坦的顶表面。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述涂覆层由与所述脊的阵列相同的材料形成。

4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的方法，其中，所述光栅线的阵列被形成为使得在所述脊的所述第二侧面上不存在光栅线。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述光栅线的阵列使用在所述脊的阵列的所述第一侧面上定向沉积光栅层材料来形成。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述光栅线的阵列通过在所述脊的所述第一侧面和所述第二侧面上各向同性沉积光栅层材料，随后从所述脊的所述第二侧面各向异性蚀刻所述光栅层材料而形成。

7.根据权利要求1至3和5至6中任一项所述的方法，其中，所述光栅线的阵列通过在所述脊的所述第一侧面上对所述透明材料进行空间变化的定向沉积来形成，以产生具有空间变化的占空比的光栅线的阵列。

8.根据权利要求4所述的方法，其中，所述光栅线的阵列通过在所述脊的所述第一侧面上对所述透明材料进行空间变化的定向沉积来形成，以产生具有空间变化的占空比的光栅线的阵列。