[发明专利]在玻璃基材上选择性蚀刻层或叠层的方法

说明书

本发明涉及：‑在玻璃基材上沉积一层基本矿物功能层或多层基本矿物功能层的叠层的方法，包括以下步骤：‑在基材上沉积可激光交联的有机光敏树脂液体组合物，其中‑通过激光局部交联树脂，‑除去非交联的液体组合物，‑在这样涂覆的基材上沉积一层矿物功能层或叠层，然后‑通过热处理对交联的固体树脂进行燃烧，通过机械作用完成对交联固体树脂的去除，对矿物层或叠层进行去除，从而以与由交联的固体树脂制成的负片相对应的图案获得矿物层或叠层；‑此方法的中间产品，以及‑通过此方法获得的玻璃制品的应用，以允许射频通过。

本发明涉及一种玻璃制品，通过真空下的物理气相沉积（PVD）方法，主要是阴极增强的磁控溅射，等离子增强化学气相沉积（PECVD）或蒸发或液相沉积方法在玻璃制品上沉积具有空间结构的一层或多层薄层，尺寸范围可为几厘米至小于10 µm。

目标产品多种多样：银层（太阳能控制，低发射，电磁屏蔽，加热），可改变可见区域反射水平的层（抗反射层或镜面层），透明或不透明电极层，电致变色，电致发光，抗虹彩，抗污，抗刮擦或抗磁性层，用于出于审美目的改变可见区域的透射率的有色或吸收层。

目标产品特别是通过磁控溅射沉积的叠层。

将考虑但并非排他地考虑具有反射近红外和/或远红外波的能力的玻璃制品，这在热控玻璃制品中是常见的。在这种情况下，所提供的功能是大大降低玻璃制品表面的发射率（隔热），或者大幅减少通过玻璃制品组件的太阳能量（太阳能控制）。

类似地，将考虑覆盖有用作电极的导电层的玻璃-例如用于加热功能（用于建筑应用的e玻璃，用于汽车或航空应用的加热的挡风玻璃或侧窗）或可以用作接收电磁波的天线。

一个特殊的情况涉及GHz区域（100 µm l 1 m）中的微波频带，该频带可用于无线电传输（GSM，卫星，雷达等）。具体而言，以小于波长的尺度来构造层的可能性使得能够进入超材料的范围，在超材料中可以调制电磁传输。

对于这些各种功能（天线，加热，热控制），高导电性和非接地层会导致高频电磁波的显著衰减，并且难以确保在热控制（如上所述，在这种情况下减少加热车辆）和良好的通信信号接收之间进行兼顾。热控制层的挡风玻璃上的标准衰减可以是例如从-30到-45dB，大约在0.4到5GHz之间。

对于机动车辆应用，热功能与通信波的透明性（例如2G / 3G / 4G）的这种兼容性是非常需要的，和对于没有中继站（relais）的建筑物，则越来越需要这种兼容性。

当前，有两种解决方案可以解决此难题：例如，热控制功能可以不由导电薄层提供，而是由聚乙烯醇缩丁醛（PVB）或其他包含导电化合物的纳米颗粒（例如掺杂锡的氧化铟（ITO，指铟锡氧化物））的中间层提供。在这种情况下，通过吸收而不是通过反射光谱的高能部分来提供热控制。该解决方案仅可用于日光控制，并且相对于反射解决方案而言效率极低，并且需要层压玻璃制品。

第二种解决方案是在沉积后蚀刻银层，以便有选择地去除足够薄（100 µm）的条带上的银，这些条带几乎不能被眼睛察觉，并根据希望得到促进的透射的波长彼此隔开几毫米。复杂的图案可以完全用于脸部。该技术的代表尤其是WO 99/54961 A1和WO 2014/033007 A1。

另外，导电层的加热效率取决于其表面电阻R_sq或R_□，电极之间的电压，还取决于电极之间的距离。对于建筑应用，这种依赖性带来了问题，因为对于相同的电源，对于每种尺寸的加热区都需要玻璃制品的电阻。一种解决方案可以包括再次蚀刻例如银基层，以便调节其总表面电阻，以使其能够与电极之间的距离和所需的表面加热功率兼容。

最后，在例如执行该层与车身的电磁去耦的条件下，可以以天线的形式对银基玻璃制品进行功能化。该操作也可以通过蚀刻来实现。

替代的选择性蚀刻方法基本上源自微电子工业。其中一些采用临时层，其他一些则采用直接蚀刻。