[发明专利]用于测量沉积速率的测量组件及其方法

说明书

描述了一种用于测量真空沉积腔室中沉积材料的沉积速率的测量组件。所述测量组件包括提供沉积表面和参考表面的一个或多个透明基板，所述沉积表面经构造以在真空沉积装置的真空腔室中接收沉积材料的至少一部分；以及光学测量组件。所述光学测量组件包括电磁辐射的源；第一检测器，所述第一检测器用于所述电磁辐射的第一部分并提供沉积速率信号；以及第二检测器，所述第二检测器用于所述电磁辐射的第二部分并提供参考信号。

技术领域

本公开内容涉及一种用于测量蒸发的材料的沉积速率的测量组件、一种用于蒸发材料的蒸发源、一种用于将材料施加至基板的沉积装置，以及一种用于测量蒸发的材料的沉积速率的方法。本公开内容具体涉及一种用于测量蒸发的有机材料的沉积速率的测量组件及用于其的方法。此外，本公开内容具体涉及其中包含有机材料的设备，例如用于有机材料的蒸发源和沉积装置。

背景技术

有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发光层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持式装置等，以用于显示信息。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器可能的颜色、亮度和视角范围大于传统LCD显示器，因为OLED像素直接发光并且不涉及背光。因此，OLED显示器的能耗远低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED可以制造到柔性基板上的事实带来了进一步的应用。

OLED的功能取决于有机材料的涂层厚度。该厚度必须在预定范围内。在OLED生产中，使用有机材料进行涂覆的沉积速率被控制在预定的容差范围内。换句话说，在生产过程中必须彻底控制有机蒸发器的沉积速率。

因此，对于OEED应用以及还对于其他蒸发处理，需要相对较长时间内的高精度沉积速率。有多种用于测量蒸发器的沉积速率的测量系统是可行的。然而，这些测量系统在所需的时间段内遭受不足的精度和/或不足的稳定性。

例如，石英晶体微量天平(QCM)将振荡石英晶体的频率与沉积在QCM上的材料的质量相关联。在材料沉积在QCM上时，振荡频率改变。基于振荡频率的变化确定沉积速率。可以认为QCM对质量的变化高度灵敏。然而，QCM饱和以及难以在长时间段内可靠地测量导致了频繁的维护和/或长维护时间。

因此，持续需要提供改进的沉积速率测量系统、沉积速率测量方法、蒸发器和沉积装置。

发明内容

鉴于上述，提供了根据独立权利要求的一种用于测量真空沉积腔室中的沉积速率的测量组件、一种沉积源、一种沉积装置和一种用于测量待在真空腔室内沉积的材料的沉积速率的方法。根据从属权利要求、说明书和附图，进一步的优点、特征、方面和细节是显而易见的。

提供了一种用于测量真空沉积腔室中沉积材料的沉积速率的测量组件。所述测量组件包括一个或多个透明基板，所述一个或多个透明基板提供沉积表面和参考表面，所述沉积表面经构造以在真空沉积装置的真空腔室中接收沉积材料的至少一部分；以及光学测量组件。所述光学测量组件包括电磁辐射的源；第一检测器，所述第一检测器用于所述电磁辐射的第一部分并提供沉积速率信号；以及第二检测器，所述第二检测器用于所述电磁辐射的第二部分并提供参考信号。

提供了一种用于测量真空沉积腔室中沉积材料的沉积速率的测量组件。所述测量组件包括第一透明基板，所述第一透明基板具有主表面，所述主表面相对于沉积材料的材料方向成第一角度设置；以及光学测量组件。所述光学测量组件包括位于第一透明基板的第一侧处的电磁辐射的源；以及第一检测器，所述第一检测器用于所述电磁辐射的、在所述第一透明基板的与所述第一侧相对的第二侧处的至少一部分，其中电磁辐射的辐射方向被提供为从源穿过第一透明基板至所述第一检测器，其中所述辐射方向相对于材料方向倾斜。