[发明专利]燃料电池单体

权利要求书

1.一种燃料电池单体，其特征在于，具有：

具有设置了在俯视观察下具有网眼形状的支承部的区域的支承基板；

所述支承基板上的第1电极；

所述第1电极上的电解质膜；和

所述电解质膜上的第2电极，

所述第1电极具有：

第1薄膜电极，其至少覆盖所述区域而形成；和

第1网眼状电极，其与所述第1薄膜电极连接，与所述支承部对应而设，具有比所述第1薄膜电极厚的膜厚，在俯视观察下具有网眼形状。

2.根据权利要求1所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第2电极具有：

第2薄膜电极，其至少覆盖所述区域而形成于所述电解质膜上；和

第2网眼状电极，其与所述第2薄膜电极连接，与所述支承部对应而设，具有比所述第2薄膜电极厚的膜厚，在俯视观察下具有网眼形状。

3.根据权利要求1所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述支承基板具有：半导体基板；和形成于所述半导体基板的第1面上的第1绝缘膜，

所述半导体基板设有：从与所述第1面对置的第2面在所述区域到达所述第1绝缘膜的第1开口部，

通过在所述第1绝缘膜设置多个第2开口部，来在所述区域形成所述支承部。

4.根据权利要求3所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第1绝缘膜具有拉伸应力。

5.根据权利要求3所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第1绝缘膜是氮化硅膜、氮化铝膜、氮化硅膜与氧化硅膜的层叠膜、或氮化硅膜、氧化硅膜与氮化铝膜的层叠膜。

6.根据权利要求1所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第1薄膜电极是通过溅射法形成的连续膜。

7.根据权利要求6所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第1薄膜电极的材料是Pt、Ag、Ni、Cr、Pd、Ru、Rh中的任一者。

8.根据权利要求1所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第1薄膜电极的膜厚是2nm以上且30nm以下。

9.根据权利要求1所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第1网眼状电极由Pt膜、Au膜、Ag膜、Mo膜、W膜、Ta膜、Hf膜、Si膜的任一者、或它们的层叠膜形成。

10.根据权利要求2所述的燃料电池单体，其特征在于，

在所述支承基板上按照所述第1薄膜电极、所述第1网眼状电极、所述电解质膜、所述第2薄膜电极以及所述第2网眼状电极的顺序进行层叠，

所述第1电极具有：

第3薄膜电极，其与所述第1网眼状电极连接，与所述第2薄膜电极形成于同层；和

第3电极，其与所述第3薄膜电极连接，与所述第2网眼状电极形成于同层，

所述第3电极的上端以及所述第2网眼状电极的上端的高度设为相等。

11.根据权利要求1所述的燃料电池单体，其特征在于，

在所述支承基板上按照所述第1网眼状电极、所述第1薄膜电极、所述电解质膜的顺序进行层叠，

所述第1薄膜电极与所述电解质膜的界面是平面状。

12.根据权利要求11所述的燃料电池单体，其特征在于，

所述第2电极具有：

第2薄膜电极，其至少覆盖所述区域而形成于所述电解质膜上；和

第2网眼状电极，其与所述第2薄膜电极连接，与所述支承部对应而设，具有比所述第2薄膜电极厚的膜厚，在俯视观察下具有网眼形状，

所述第2薄膜电极与所述电解质膜的界面是平面状。