[发明专利]干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪

权利要求书

1.一种干涉仪移动镜位置测定装置，用于确定具有分束器、固定镜以及移动镜的干涉仪的该移动镜的位置，所述干涉仪移动镜位置测定装置的特征在于，具备：

a)激光光源；

b)相位分离光学系统，其能够将相位互不相同的第一光和第二光进行分离并进行检测，所述第一光和第二光是所述激光光源的光被所述固定镜和所述移动镜反射而生成的；

c)信号变换部，其根据所述第一光和所述第二光，来分别生成第一正弦波信号和第二正弦波信号；

d)相位计算部，其在通过针对所述第一正弦波信号和所述第二正弦波信号分别进行标准化及相位差校正来求出相位差校正后标准化第一正弦波信号和相位差校正后标准化第二正弦波信号后，计算在各时间点的所述相位差校正后标准化第一正弦波信号或者所述相位差校正后标准化第二正弦波信号的相位；以及

e)移动镜位置确定部，其基于所述移动镜的位置与所述相位的关系，根据在特定的时间点的相位来确定在该时间点的该移动镜的位置。

2.根据权利要求1所述的干涉仪移动镜位置测定装置，其特征在于，

还具备参数校准部，所述参数校准部重复进行以下处理：

以规定的相位间隔获取所述第一正弦波信号和所述第二正弦波信号的多个强度值，

对于所述第一正弦波信号和所述第二正弦波信号分别求出获取到的多个强度值的平均值，并且对于获取到的多个强度值进行离散傅里叶变换处理来求出振幅、以及所述第一正弦波信号与所述第二正弦波信号的相位差。

3.一种傅里叶变换红外分光光谱仪，其特征在于，具备：

红外光干涉光学系统，其具有红外光源、分束器、固定镜以及移动镜；

红外光检测器，其对由所述红外光干涉光学系统生成的干涉光进行检测；以及

根据权利要求1所述的干涉仪移动镜位置测定装置。

4.根据权利要求3所述的傅里叶变换红外分光光谱仪，其特征在于，

还具备步进扫描控制部，所述步进扫描控制部控制所述移动镜以重复进行以下操作：通过使用来自所述移动镜位置确定部的位置信号进行控制来使该移动镜停止在固定间隔的不同位置，在各个所述位置处多次获取来自所述红外光检测器的检测信号。

5.一种傅里叶变换红外分光光谱仪，其特征在于，具备：

红外光干涉光学系统，其具有红外光源、分束器、固定镜以及移动镜；

红外光检测器，其对由所述红外光干涉光学系统生成的干涉光进行检测；以及

根据权利要求2所述的干涉仪移动镜位置测定装置。

6.根据权利要求5所述的傅里叶变换红外分光光谱仪，其特征在于，

还具备步进扫描控制部，所述步进扫描控制部控制所述移动镜以重复进行以下操作：通过使用来自所述移动镜位置确定部的位置信号进行控制来使该移动镜停止在固定间隔的不同位置，在各个所述位置处多次获取来自所述红外光检测器的检测信号。