[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法以及有机半导体元件的制造方法

说明书

蒸镀掩膜(100)包括：磁性金属体(20),其含有至少一个第一开口部(25)；层叠体(30),在磁性金属体(20)上覆盖至少一个第一开口部(25)配置,并具有位于至少一个第一开口部(25)内的多个第二开口部(13)；层叠体(30)包括第一层(m1)以及配置于第一层(m1)与磁性金属体(20)之间的第二层(m2),在至少一个第一开口部(25)内,室温以上的第一温度下的第一层的弹性模量E1、第一层的厚度a1、第一层所具有的内部应力σ1、第二层的弹性模量E2、第二层的厚度a2、第二层所具有的内部应力σ2满足下述式(1)、(2)：σ1/E1‑σ2/E2＜0···(1)0＜a1×σ1+a2×σ2···(2)其中，σ1、σ2为拉伸应力时为正。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。此外，本发明涉及使用蒸镀掩模的有机半导体元件的制造方法。

背景技术

近年来,有机EL(ElectroLuminescent:电致发光)显示装置作为下一代显示器受到关注。在当前量产的有机EL显示装置中,主要使用真空蒸镀法进行有机EL层的形成。

作为蒸镀掩模,一般是金属制的掩模(金属掩模)。然而,随着有机EL显示装置的高精细化的发展,使用金属掩模精度良好地形成蒸镀图案变得困难。这是因为,在现有的金属加工技术中,难以在成为金属掩模的金属板(例如厚度100μm左右)上以高精度形成对应于短像素间距(例如10～20μm左右)的小的开口部。

由此,作为用于形成精细度高的蒸镀图案的蒸镀掩模,提出了具有层叠了树脂层和金属层(磁性金属体)的结构的蒸镀掩模(以下也称为“层叠型掩模”)。

例如,专利文献1公开了层叠型掩模，层叠型掩模层叠有树脂薄膜和作为金属磁性体的保持部件。在树脂膜上形成有与所期望的蒸镀图案对应的多个开口部。在保持构件上形成有尺寸比树脂膜的开口部大的狭缝。树脂膜的开口部配置在狭缝内。因此,在使用专利文献1的层叠型掩模的情况下,蒸镀图案与树脂膜的多个开口部对应地形成。比通常的用于金属掩模的金属板薄的树脂膜中,即使是小的开口部,也能够以高精度地形成。

在树脂膜上形成上述那样的小开口部时,优选使用激光烧蚀法。专利文献1中记载了向载置于支承材料(玻璃基板等)的树脂膜照射激光以形成期望尺寸的开口部的方法。

图21的(a)～(d)分别是用于说明专利文献1所公开的现有的蒸镀掩模的制造方法的示意性工序剖视图。

在专利文献1中,首先,如图21的(a)所示,在树脂膜81上形成具有开口部(狭缝)85的金属层82,得到层叠膜80。接着,如图21的(b)所示,在对层叠膜80沿规定的面内方向赋予张力的状态下,将层叠膜80安装于框架87。之后,如图21的(c)所示,将层叠膜80载置于玻璃基板90上。此时,使树脂膜81中的与金属层82相反一侧的面经由乙醇等液体88紧贴于玻璃基板90。然后,如图21的(d)所示,通过对树脂膜81中的由金属层82的狭缝85露出的部分照射激光L,从而在树脂膜81形成多个开口部89。这样,制造出层叠型的蒸镀掩模900。

另外,在上述的例子中,作为保持部件的磁性金属体(金属层82)具有在一个蒸镀对象基板上形成多个装置(例如有机EL显示器)的蒸镀掩模中对应于一个装置的单位区域U配置有两个以上的开口部或狭缝的结构,但也可以对应于一个单位区域U具有一个开口部。将这样的结构称为“开口掩模结构”。以下,会将具有开口掩模结构的磁性金属体简称为“开口掩模”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特开2014-205870号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

本发明人研究的结果是,在通过图21所例示的方法制造的现有的蒸镀掩模中,会有树脂膜产生由自重导致的挠曲的情况。