[发明专利]异物检查装置及异物检查方法

说明书

本发明提供一种异物检查装置，在检查附着于检查对象的异物时能够实现异物检测精度的提高。本发明的异物检查装置(1)用于检查附着于检查对象(4)的表面上的异物；异物检查装置(1)具备：光源部(3a、3b)，其将照明光(L)照射于检查对象(4)；拍摄部(2a～2r)，其对检查对象(4)进行拍摄；以及检测部，其基于由拍摄部(2a～2r)拍摄到的图像，来检测异物。在检测部中，作为异物的检测对象的图像是以拍摄部(2a～2r)拍摄的图像中的入射有照明光(L)那一侧的一部分区域。

技术领域

本发明涉及一种对附着于液晶彩色滤光片等各种基板上的异物进行检查的异物检查装置及异物检查方法。

背景技术

以往，在半导体制造工序、或者液晶显示装置等的平板显示器的制造工序等中，目的是为了提高产品的精度等，在制造工序中，对附着于玻璃基板上的异物进行了检测。

专利文献1公开了如下所述的异物检测装置，即：使拍摄装置的焦点对准于被检查物体的表面来进行拍摄，从所拍摄的图像中检测被检查物体的表面的异物，并使拍摄装置的焦点对准于被检查物体的背面进行拍摄，再从所拍摄的图像中检测被检查物体的背面的异物。专利文献2公开了如下所述的异物检查装置，即：能够高精度地检查附着于玻璃基板的表面及背面的异物。由此，该异物检查装置可以通过使投光位置与受光位置的相对位置发生变化，而在附着于玻璃基板的表面的异物的检测、与附着于玻璃基板的背面的异物的检测之间进行切换。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-74849号公报

专利文献2：日本特开2016-133357号公报

发明内容

在安装于液晶显示装置上的彩色滤光片的制造工序中，需要在涂敷有光阻(レジスト)的状态下进行异物是否附着于所涂敷的光阻上的检查。在光阻附着有异物的情况下，在作为后续工序的曝光中，会造成靠近光阻面配置的光罩破损、或者损害彩色滤光片本身的品质。特别是，由于光罩价格高昂，因此，当因为异物而产生破损时，经济上的损失会相当大。

在这样的情形下，就会有一种：在彩色滤光片的制造工序中，能够进行高精度的异物检测的这样需求。

因此，本发明所涉及的异物检查装置采用了如下所述的第一构成。

一种异物检查装置，其用于检查附着于检查对象的表面上的异物，其特征在于,

所述异物检查装置具备：光源部，其将照明光照射于所述检查对象；拍摄部，其对所述检查对象进行拍摄；以及检测部，其基于由所述拍摄部拍摄到的图像来检测异物；

在所述检测部中，作为异物的检测对象的图像是以所述拍摄部拍摄的图像中的入射有照明光那一侧的一部分区域。

此外，本发明所涉及的异物检查装置(第二构成)是在第一构成的基础之上，所述拍摄部的光学系统的光轴相对于所述检查对象的表面而倾斜。

并且，本发明所涉及的异物检查装置(第三构成)是一种用于检查附着于检查对象的表面上的异物的装置，其特征在于,

所述异物检查装置具备：光源部，其将照明光照射于所述检查对象；拍摄部，其对所述检查对象进行拍摄；以及检测部，其基于由所述拍摄部拍摄到的图像来检测异物；

所述拍摄部中的光学系统的光轴相对于所述拍摄部的拍摄面的铅垂方向而倾斜。

此外，本发明所涉及的异物检查装置(第四构成)是在第三构成的基础之上，所述拍摄面的延长面、与所述光学系统的光轴的垂直面在所述检查对象的大致表面位置相交。