[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，其中，所述光照射装置具有：

光源，其发出光；

投影光学系统，其对基于从所述光源发出的所述光形成的像进行投影；

像差校正面，其校正由所述投影光学系统对所述像进行投影时产生的像差；

第1楔形棱镜，其入射从所述投影光学系统出射的所述光并使所述光偏转；以及

第2楔形棱镜，其入射由所述第1楔形棱镜偏转后的所述光并使所述光偏转，

所述第1楔形棱镜和所述第2楔形棱镜被保持成，通过使所述第1楔形棱镜和所述第2楔形棱镜中的至少一方旋转，来变更从所述第2楔形棱镜出射的光的偏转方向，

所述像差校正面与所述投影光学系统的出射面相比配置于所述第1楔形棱镜侧，包含所述第1楔形棱镜的入射面在内与所述第1楔形棱镜相比配置于所述投影光学系统侧，

其中，所述像差校正面形成于所述第1楔形棱镜的入射面。

2.根据权利要求1所述的光照射装置，其中，

被保持成所述第1楔形棱镜旋转时的第1旋转轴穿过所述第1楔形棱镜的入射面和出射面。

3.根据权利要求2所述的光照射装置，其中，

所述像差校正面是关于所述第1旋转轴旋转对称的面。

4.根据权利要求2所述的光照射装置，其中，

所述第1旋转轴和所述投影光学系统的光轴是同一轴。

5.根据权利要求3所述的光照射装置，其中，

所述第1旋转轴和所述投影光学系统的光轴是同一轴。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的光照射装置，其中，

所述光照射装置具有包含所述像差校正面的像差校正光学系统，该像差校正光学系统配置于所述投影光学系统与所述第1楔形棱镜之间。

7.根据权利要求6所述的光照射装置，其中，

所述像差校正面的光轴和所述投影光学系统的光轴是同一轴。

8.根据权利要求1～5、7中的任意一项所述的光照射装置，其中，

所述像差校正面是凸面形状的。

9.根据权利要求6所述的光照射装置，其中，

所述像差校正面是凸面形状的。

10.根据权利要求1～5、7、9中的任意一项所述的光照射装置，其中，

所述光源具有面状的发光面。

11.根据权利要求6所述的光照射装置，其中，

所述光源具有面状的发光面。

12.根据权利要求8所述的光照射装置，其中，

所述光源具有面状的发光面。

13.根据权利要求1～5、7、9、11～12中的任意一项所述的光照射装置，其中，

所述像是面状的像。

14.根据权利要求6所述的光照射装置，其中，

所述像是面状的像。

15.根据权利要求8所述的光照射装置，其中，

所述像是面状的像。

16.根据权利要求10所述的光照射装置，其中，

所述像是面状的像。

17.根据权利要求1～5、7、9、11～12、14～16中的任意一项所述的光照射装置，其中，

被保持成所述第2楔形棱镜旋转时的第2旋转轴穿过所述第2楔形棱镜的入射面和出射面。

18.根据权利要求6所述的光照射装置，其中，

被保持成所述第2楔形棱镜旋转时的第2旋转轴穿过所述第2楔形棱镜的入射面和出射面。