[发明专利]带电粒子束装置及其轴调整方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

电子源；

物镜，其使来自上述电子源的探测电子束聚焦于试样；

第一束射管及第二束射管，其使上述探测电子束穿过；

减速电极，其配置于比上述第二束射管配置于靠上述物镜侧的上述第一束射管与上述试样之间；

第一电压源，其通过对上述第一束射管施加第一电位，在上述第一束射管与上述减速电极之间形成针对上述探测电子束的减速电场；以及

第一移动机构，其使上述第一束射管的位置移动。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

第一电压源对上述第一束射管及上述第二束射管施加上述第一电位。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具有第二电压源，该第二电压源通过对上述第二束射管施加第二电位，在上述第二束射管与上述电子源之间形成针对上述探测电子束的加速电场，

具有以使上述第一电位和上述第二电位成为同电位的方式控制上述第一电压源和上述第二电压源的模式。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述减速电极与上述物镜的磁路磁结合。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述第一束射管在上述电子源侧的端部具有凸缘部，

上述第二束射管在上述物镜侧的端部具有凸缘部，

上述第一束射管的凸缘部和上述第二束射管的凸缘部以对置的方式配置。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述第一束射管经由空间或绝缘体与上述减速电极电绝缘。

7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具有内置上述第一束射管的镜筒，

上述第一移动机构从上述镜筒的外侧使上述第一束射管的位置移动。

8.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具有：

第三束射管，其配置于上述第一束射管与上述第二束射管之间，且使上述探测电子束穿过；

第二电压源，其通过对上述第二束射管施加第二电位，在上述第二束射管与上述电子源之间形成针对上述探测电子束的加速电场；

第三电压源，其对上述第三束射管施加第三电位；以及

第二移动机构，其使上述第三束射管的位置移动，

具有以使上述第一电位和上述第三电位成为同电位的方式控制上述第一电压源和上述第三电压源的模式、以及以使第二电位和上述第三电位成为同电位的方式控制上述第二电压源和上述第三电压源的模式。

9.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

电子源；

物镜，其使来自上述电子源的探测电子束聚焦于试样；

电极，其具有使上述探测电子束穿过的开口；

电压源，其通过对上述试样施加第一电位，在上述电极与上述试样之间形成针对上述探测电子束的减速电场；以及

移动机构，其使上述电极的位置移动。

10.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具有：

束射管，其配置于比上述电极靠上述电子源侧，且使上述探测电子束穿过；以及

第二电压源，其对上述电极及上述束射管施加与上述第一电位相反极性的第二电位。

11.一种轴调整方法，其为具有减速光学系统的带电粒子束装置的轴调整方法，上述减速光学系统是使探测电子束聚焦于试样的磁场透镜和使上述探测电子束减速的静电透镜重叠而成的，上述轴调整方法的特征在于，

以使上述探测电子束轨道穿过上述磁场透镜的电流中心轴的方式进行调整，

以使向上述磁场透镜供给的励磁电流周期性变动时的像的移动成为最小的方式使形成上述静电透镜的电场的电极的位置移动。