[发明专利]活性气体生成装置

说明书

本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，不变更孔板部的构造就能够有意图地减弱设置在孔板部下方的处理空间的电场强度。并且，在本发明中，高电压侧电极构成部(1)还具有与金属电极(10)相独立地形成在电介质电极(11)的上表面上的导电膜(12)。导电膜(12)在俯视时设置在至少一个气体喷出孔(9)与金属电极(10)之间，并且导电膜(12)被设定为接地电位。

技术领域

本发明涉及一种活性气体生成装置，通过平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体，并将活性气体供给到后级的处理空间。

背景技术

例如，在专利文献1中公开有通过平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体的活性气体生成装置。

图14是表示专利文献1所公开的现有的氮自由基生成系统100的概略构成的图。氮自由基生成系统100包括氮自由基生成装置101、交流电压源108以及处理腔室112。

作为活性气体生成装置的氮自由基生成装置101，利用电介质阻挡放电从氮气生成作为活性气体的氮自由基。

在氮自由基生成装置101内的空间102中，配设有生成电介质阻挡放电的放电单元。在此，上述放电单元包括第一电极103以及第二电极104。

第二电极104设置在氮自由基生成装置101的底面的中央部。然后，与第二电极104相面对地配设有第一电极103。在此，第一电极103与第二电极104离开规定间隔地面对。即，在第一电极103与第二电极104之间形成有放电空间105。

此外，在面向放电空间105的第一电极103的主面以及面向放电空间105的第二电极104的主面的至少一方配设有电介质(在图14中省略图示)。

上述放电单元能够使第一电极103与第二电极104之间的放电空间105产生电介质阻挡放电。

在氮自由基生成装置101的上表面中央部配设有气体供给口106。经由气体供给口106，从氮自由基生成装置101的外部向氮自由基生成装置101内的空间102供给作为原料气体的氮气。

在第二电极104的中央部贯穿设置有一个气体释放部107，该气体释放部107将氮自由基气体向氮自由基生成装置101之外输出。

交流电压源108对上述放电单元施加高压的交流电压。交流电压源108的一个端子与第一电极103电连接。此外，交流电压源108的另一个端子与氮自由基生成装置101的框体(接地)电连接。此外，根据上述可知的那样，在氮自由基生成装置101的底面配设有第二电极104。因此，交流电压源108的另一个端子经由氮自由基生成装置101与第二电极104电连接。

即，交流电压源108对第一电极103与第二电极104之间施加高压的交流电压。然后，通过交流电压的施加，在第一电极103与第二电极104之间的放电空间105中产生电介质阻挡放电。

从气体供给口106供给的氮气从各电极103、104的外周部进入放电空间105内。然后，氮气从各电极103、104的外周部向内部输送。通过在放电空间105内产生的电介质阻挡放电，从输送中的氮气生成氮自由基气体。所生成的氮自由基气体从气体释放部107向氮自由基生成装置101之外输出。

此外，如图14所示那样，在氮自由基生成装置101的下侧配设有处理腔室112。在此，氮自由基生成装置101的底面与处理腔室112的上表面接触。

此外，在氮自由基生成装置101与处理腔室112之间配设有孔板部109。孔板部109经由细孔110将气体释放部107与处理腔室112内的处理室111进行连接。

孔板部109的细孔110的直径小于气体释放部107的孔的直径。更具体地说，孔板部109的细孔110的入口的直径小于气体释放部107的孔的出口的直径。因此，通过孔板部109的细孔110，形成氮自由基生成装置101内的空间102与处理室111之间的压力区分。