[发明专利]具有用于容纳和放开支撑销的联接装置的销提升装置

权利要求书

1.一种销提升装置(10)、特别是销提升器，所述销提升装置被设计用于在能由真空处理室提供的工艺气氛区域(P)中移动和定位待处理的基片(1)、特别是晶圆，所述销提升装置包括：

·联接装置(20)，该联接装置(20)被设计用于容纳支撑销(7)，所述支撑销(7)配置成与所述基片(1)接触并支承所述基片(1)，

·驱动单元(6)，所述驱动单元(6)与所述联接装置(20)合作并且被设计成使所述联接装置(20)能从降低的正常位置运动到伸出的支承位置并且能再次返回，在所述降低的正常位置中，处于装载状态的所述支撑销(7)处于就其预期作用而言基本没有作用的状态，在所述伸出的支承位置中，处于所述装载状态的所述支撑销(7)提供其用于容纳和/或提供所述基片的预期作用，其中，所述联接装置(20)能沿运动轴线线性运动，和

·分离机构，该分离机构用于将所述工艺气氛区域(P)与外部气氛区域(A)分开，其中，所述驱动单元(6)至少部分对应配属于所述外部气氛区域(A)，并且所述联接装置(20)尤其对应配属于所述工艺气氛区域(P)，

其特征在于，所述联接装置(20)为了容纳所述支撑销(7)而具有线性延伸的凹部(21)、特别是柱形凹部，所述凹部限定出中心容纳轴线(22)，所述凹部具有：

·基本垂直于所述容纳轴线(22)限定的凹部宽度(21a)，以及

·关于所述容纳轴线(22)轴向地界定的夹紧部(25)，所述夹紧部(25)具有夹紧元件(30,40,50,60,70)，其中，所述夹紧元件(30,40,50,60,70)在未装载的容纳状态下限定出比所述凹部宽度(21a)小的夹紧宽度(25a)，且所述夹紧宽度(25a)能根据径向作用于所述夹紧元件(30,40,50,60,70)的力而变化。

2.根据权利要求1所述的销提升装置(10)，其特征在于，

·所述联接装置在所述夹紧部(25)的区域中在所述凹部(21)的内部具有凹槽(24)，所述凹槽尤其呈柱形围绕圆周延伸，并且

·设置在所述凹槽(24)中的弹簧件(30)形成所述夹紧元件，其中，所述弹簧件(30)在未装载的容纳状态下限定出作为所述夹紧宽度的第一弹簧内部宽度(25a)，所述第一弹簧内部宽度小于所述凹部宽度(21a)，并且所述第一弹簧内部宽度(25a)能根据径向作用于所述弹簧件(30)的力而变化。

3.根据权利要求2所述的销提升装置(10)，其特征在于，在支撑销(7)按期望位置被保持在所述联接装置(20)内的装载容纳状态下，所述弹簧件(30)在所述凹槽(24)的区域中限定出小于所述凹部宽度(21a)的第二弹簧内部宽度。

4.根据权利要求2或3所述的销提升装置(10)，其特征在于，所述弹簧件(30)以预张紧方式安置在所述凹槽(24)中，并且因所述预张紧而被保持在所述凹槽(24)中。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的销提升装置(10)，其特征在于，所述凹部(21)和/或所述凹槽(24)的关于与所述容纳轴线(22)正交的平面的横截面是圆形的。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的销提升装置(10)，其特征在于，所述弹簧件(30)以环形螺旋弹簧形式实现，其中，所述弹簧件(30)在与所述弹簧正交的平面上的投影呈环状，尤其是圆环状。

7.根据权利要求6所述的销提升装置(10)，其特征在于，由所述螺旋弹簧的环匝限定的弹簧直径大于所述凹槽(24)的径向凹陷宽度。

8.根据权利要求2至7中任一项所述的销提升装置(10)，其特征在于，所述弹簧件(30)的包络呈圆环状，其中，圆环中心线(31)是椭圆形的，尤其基本是圆形的。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的销提升装置(10)，其特征在于，所述弹簧件(30)的环匝关于所述弹簧件(30)的半径是倾斜的，尤其是其中，圆环中心线(31)与弹簧环匝的中心线之间的角度(α)定义所述环匝的倾斜角。