[发明专利]显示装置的制造方法以及显示装置

说明书

一种显示装置的制造方法，在形成由第一金属层构成的多个控制线(G)的工序中，形成将相邻的控制线彼此局部连接的第一金属层分支线(Ga)。在形成由第二金属层构成的多个电源线(P)的工序中，形成经由第一绝缘膜(18)的通孔而使电源线与第一金属层分支线连接的第二金属层连接部(Pb)。将控制线/电源线与显示区域(55)外的电路元件(57)连接，使第一金属层分支线/第二金属层连接部切割。

技术领域

本发明涉及一种显示装置的制造方法以及显示装置。

背景技术

构成显示装置的有源矩阵基板的制造工序包括容易产生静电的工序。所产生的静电使有源矩阵基板内的各种布线的一部分带电，从而使绝缘的布线之间产生高电压。若上述高电压变得比使布线之间绝缘的绝缘膜的绝缘耐压高，则产生静电放电(ElectrostaticDischarge。以下称为“ESD”。)。若产生ESD，则布线之间的绝缘膜被破坏，造成这些布线之间短路，其结果无法使显示装置正常动作。

在专利文献1公开有使用氧化物半导体膜的技术作为针对ESD的对策。在该技术中，通过导体的氧化物半导体膜使最终应该绝缘的布线之间短路至制造工序的中途阶段为止。其后，通过对用于保护氧化物半导体膜的钝化膜进行退火，从而使氧化物半导体膜由导体变化为半导体，使上述布线之间绝缘。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开专利公报“WO2017/170219A1(2017年10月5日公开)”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

本发明的目的在于提供基于与使用氧化物半导体膜的上述对策不同的方法的针对显示装置的ESD的对策。

解决问题的方案

对于本发明的实施的一方式所涉及的显示装置的制造方法而言，上述显示装置具备：

显示区域；

边框区域，其位于上述显示区域的周边；

从上述显示区域至上述边框区域设置的多个控制线、与上述多个控制线平行的多个电源线以及与上述多个控制线交叉的多个数据信号线；

控制电路，其配置为在上述边框区域中沿与上述多个控制线垂直的方向上成为长边方向，并对上述多个控制线输入控制信号；以及

分别依次层叠的基底绝缘膜、形成上述多个控制线的第一金属层、第一绝缘膜、形成上述多个电源线的第二金属层、第二绝缘膜以及形成上述多个数据信号线的第三金属层，

上述多个控制线在上述边框区域中经由上述第二金属层或者第三金属层而与上述控制电路电连接，

在上述显示装置的制造方法中，包括：

基底绝缘膜工序，形成上述基底绝缘膜；

第一金属层工序，通过使上述第一金属层成膜并对该第一金属层进行图案化，从而形成上述多个控制线，并且在上述控制电路以及上述显示区域各自的形成位置的间隙中，形成从各控制线朝向邻接的控制线分支的第一金属层分支线；

第一绝缘膜工序，通过使上述第一绝缘膜成膜并对该第一绝缘膜进行图案化，从而以与上述第一金属层分支线重叠的方式在上述第一绝缘膜形成第一绝缘膜第一开口部；

第二金属层工序，通过使上述第二金属层成膜并对该第二金属层进行图案化，从而形成上述多个电源线，并且在上述间隙中，形成从各电源线分支的第二金属层分支线以及经由上述第一绝缘膜第一开口部而与上述第一金属层分支线连接的第二金属层连接部；