[发明专利]电荷粒子线装置

权利要求书

1.一种电荷粒子线装置，其特征在于，具备：

电荷粒子线源，其产生电荷粒子线；

第一电荷粒子线光圈；

电荷粒子线光圈电源，其向上述第一电荷粒子线光圈施加电压；

物镜，其使上述电荷粒子线聚焦到样本；

检测器，其检测通过向上述样本照射上述电荷粒子线而释放的二次电荷粒子；以及

计算机，其根据由上述检测器检测出的二次电荷粒子，形成电荷粒子线像，

上述第一电荷粒子线光圈的位置被设定为，在通过上述电荷粒子线光圈电源向上述第一电荷粒子线光圈施加交流电压的状态下，没有上述电荷粒子线像的移动而与上述交流电压同步地变化为同心圆状。

2.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述第一电荷粒子线光圈是具有圆环形状的电荷粒子线光圈，

上述交流电压的偏移电压被设定为，在通过上述电荷粒子线光圈电源向上述第一电荷粒子线光圈施加上述交流电压的状态下，上述交流电压的最大电压下的散景量与上述交流电压的最小电压下的散景量同等。

3.根据权利要求2所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

在上述电荷粒子线光圈电源向上述第一电荷粒子线光圈施加具有上述偏移电压的大小的直流电压的状态下，上述计算机形成上述电荷粒子线像。

4.根据权利要求2所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述电荷粒子线装置具备：具有圆孔形状的第二电荷粒子线光圈、切换上述第一电荷粒子线光圈和上述第二电荷粒子线光圈的电荷粒子线光圈器，

在使用上述第二电荷粒子线光圈进行了上述电荷粒子线的光轴调整的状态下，通过上述电荷粒子线光圈器从上述第二电荷粒子线光圈切换到上述第一电荷粒子线光圈，设定上述第一电荷粒子线光圈的位置。

5.根据权利要求1所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述交流电压是正弦波、矩形波、三角波、锯齿状波、以及它们的复合波形中的任意一个。

6.一种电荷粒子线装置，其特征在于，具备：

电荷粒子线源，其产生电荷粒子线；

电荷粒子线光圈；

电荷粒子线光圈器，其使上述电荷粒子线光圈移动；

电荷粒子线光圈控制部，其控制上述电荷粒子线光圈器；

电荷粒子线光圈电源，其向上述电荷粒子线光圈施加交流电压；

电荷粒子线光圈电源控制部，其控制上述电荷粒子线光圈电源；

物镜，其使上述电荷粒子线聚焦到样本；

检测器，其检测通过向上述样本照射上述电荷粒子线而释放的二次电荷粒子；以及

计算机，其具备根据由上述检测器检测出的二次电荷粒子形成电荷粒子线像的图像形成部、计算与向上述电荷粒子线光圈施加的上述交流电压同步的上述电荷粒子线像的变化的特征量的特征量计算部，

上述电荷粒子线光圈控制部向上述电荷粒子线光圈器指示基于使上述电荷粒子线光圈的位置变化而产生的上述特征量的变化量所确定的上述电荷粒子线光圈的移动量，

上述电荷粒子线光圈电源控制部向上述电荷粒子线光圈电源指示基于使上述交流电压的偏移电压变化而产生的上述特征量的变化量所确定的上述交流电压的偏移电压的变化量。

7.根据权利要求6所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述特征量计算部计算出上述电荷粒子线像的位置移动量或浓淡值作为上述特征量。

8.根据权利要求6所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述电荷粒子线光圈器具备使上述电荷粒子线光圈移动的电动驱动机构。

9.根据权利要求6所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述交流电压是正弦波、矩形波、三角波、锯齿状波、以及它们的复合波形中的任意一个。

10.根据权利要求6所述的电荷粒子线装置，其特征在于，

上述电荷粒子线光圈是具有圆环形状的电荷粒子线光圈。