[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其使多张基板浸润在蓄留在处理槽内的处理液并对所述多张基板进行处理，所述基板处理装置的特征在于，具备：

升降部，其在所述处理槽内在规定的排列方向上支承多张基板；

一对喷出管，其分别配置在所述处理槽的下部的、从所述基板的排列方向观察的两侧，在沿所述处理槽的底面的方向且朝向所述处理槽的中央的方向上供给处理液；以及

狭缝板，其配置在支承于所述升降部的基板的下方与所述处理槽的底面之间，形成有多个将长轴顺着所述多张基板的排列方向的狭缝，所述多个狭缝以彼此平行的位置关系形成，

在从所述基板的排列方向观察所述狭缝板的情况下，所述处理槽的中央区域和与所述中央区域相比位于所述一对喷出管侧的外区域这两个区域中的所述多个狭缝中，所述外区域中的狭缝的宽度比所述中央区域中的狭缝的宽度大。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

在从所述基板的排列方向观察所述狭缝板的情况下，所述外区域被划分为与所述中央区域相比位于所述一对喷出管侧的第一外区域、和位于所述中央区域与所述第一外区域之间的第二外区域，

所述多个狭缝的宽度按照所述中央区域、所述第二外区域、所述第一外区域的顺序变大。

3.一种基板处理装置，其使多张基板浸润在蓄留在处理槽内的处理液并对所述多张基板进行处理，所述基板处理装置的特征在于，具备：

升降部，其在所述处理槽内在规定的排列方向上支承多张基板；

一对喷出管，其分别配置在所述处理槽的下部的、从所述基板的排列方向观察的两侧，在沿所述处理槽的底面的方向且朝向所述处理槽的中央的方向上供给处理液；

狭缝板，其配置在支承于所述升降部的基板的下方与所述处理槽的底面之间，形成有多个将长轴顺着所述多张基板的排列方向的狭缝，所述多个狭缝以彼此平行的位置关系形成；以及

散热板，其设于所述狭缝板，具有多个沿所述狭缝的长轴配置了长边的板状部件，多个所述板状部件以彼此平行的位置关系朝向所述处理槽的底面侧立起设置。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，

在从所述基板的排列方向观察所述散热板的情况下，多个所述板状部件的下端面与所述处理槽的底面之间的距离随着从所述一对喷出管侧趋向所述处理槽的中央而依次变短。

5.一种基板处理装置，其使多张基板浸润在蓄留在处理槽内的处理液并对所述多张基板进行处理，所述基板处理装置的特征在于，具备：

升降部，其在所述处理槽内在规定的排列方向上支承多张基板；

一对喷出管，其分别配置在所述处理槽的下部的、从所述基板的排列方向观察的两侧，在沿所述处理槽的底面的方向且朝向所述处理槽的中央的方向上供给处理液；以及

散热板，其配置在支承于所述升降部的基板的下方与所述处理槽的底面之间，具有多个沿所述多张基板的排列方向配置了长边的板状部件，多个所述板状部件以彼此平行的位置关系朝向所述处理槽的底面侧立起设置，

在从所述基板的排列方向观察所述散热板的情况下，多个所述板状部件的下端面与所述处理槽的底面之间的距离随着从所述一对喷出管侧趋向所述处理槽的中央而依次变短。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，

所述升降部具备：保持基板的下缘中央部的中央部保持部；以及保持从所述基板的排列方向观察的两侧的下缘的一对侧部保持部，

从所述基板的排列方向观察时，多个所述板状部件配置在所述中央部保持部与所述侧部保持部之间。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述一对喷出管在与所述处理槽的底面中央相比更靠前的供给位置供给处理液。