[发明专利]成像数据处理装置以及成像数据处理程序在审

专利信息
申请号: 201880091068.1 申请日: 2018-03-30
公开(公告)号: CN111837031A 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 池上将弘 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 成像 数据处理 装置 以及 程序
【权利要求书】:

1.一种成像数据处理装置,用于处理成像数据,该成像数据是通过在试样上的二维测定区域内的多个微小区域中分别进行规定的分析或观察而得到的数据的集合,所述成像数据处理装置对针对作为观察对象的部位相同或彼此相似的多个试样分别得到的成像数据、或者针对作为观察对象的部位相同的一个试样用不同的分析或观察方法得到的或在不同的参数下得到的成像数据进行处理,所述成像数据处理装置的特征在于,具备:

a)图像位置对准处理部,其将基于作为处理对象的多个成像数据生成的多个图像中的一个图像设为基准,进行伴有除被设为基准的所述图像以外的其它图像中的各微小区域的位置移动的变形处理,以使分别得到的一个或多个试样的相同或彼此相似的部位一致;

b)关心区域设定受理部,其用于使用户在被所述图像位置对准处理部设为基准的图像上或者在被所述图像位置对准处理部变形后的图像中的一个图像上设定关心区域;以及

c)关心区域对应微小区域决定部,其在从由所述图像位置对准处理部处理后的多个图像以及被设为基准的图像中去除了被所述关心区域设定受理部设定了关心区域的图像后的其它图像中,将在由该图像位置对准处理部进行处理时发生了移动的微小区域的中心点存在于由所述关心区域设定受理部设定的关心区域的框内的微小区域视为包含于该关心区域的微小区域,由此在各图像中决定包含于关心区域的微小区域。

2.一种成像数据处理装置,用于处理成像数据,该成像数据是通过在试样上的二维测定区域内的多个微小区域中分别进行规定的分析或观察而得到的数据的集合,所述成像数据处理装置对针对作为观察对象的部位相同或彼此相似的多个试样分别得到的成像数据、或者针对作为观察对象的部位相同的一个试样用不同的分析或观察方法得到的或在不同的参数下得到的成像数据进行处理,所述成像数据处理装置的特征在于,具备:

a)图像位置对准处理部,其将基于作为处理对象的多个成像数据生成的多个图像中的一个图像设为基准,进行伴有除被设为基准的所述图像以外的其它图像中的各微小区域的位置移动的变形处理,以使分别得到的一个或多个试样的相同或彼此相似的部位一致;

b)关心区域设定受理部,其用于使用户在被所述图像位置对准处理部设为基准的图像上或者在被所述图像位置对准处理部变形后的图像中的一个图像上设定关心区域;以及

c)关心区域内数据值运算部,其在从由所述图像位置对准处理部处理后的多个图像以及被设为基准的图像中去除了被所述关心区域设定受理部设定了关心区域的图像后的其它图像中,在与由所述关心区域设定受理部设定的关心区域相当的关心区域的框内,通过使用在由所述图像位置对准处理部进行处理时发生了移动的多个微小区域的中心点的位置处的数据值进行插值处理,来计算与在被设定了所述关心区域的图像上由所述关心区域设定受理部设定的关心区域的框内存在的微小区域的中心点对应的位置处的数据值,采用计算出的该数据值来作为在去除被设定了所述关心区域的图像后的其它图像上的关心区域中包含的虚拟的各微小区域的数据值。

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