[发明专利]电磁波传感器

权利要求书

1.一种电磁波传感器，其特征在于，具有：

第一基板；

与所述第一基板相对设置的透射红外线的第二基板，在所述第二基板与所述第一基板之间形成内部空间；

设置在所述内部空间中的、由所述第二基板支承的多个辐射热计膜；

形成于所述第一基板的局部热源；

将所述第一基板与所述第二基板连接的第一电连接部件；和

在所述第二基板上或所述第二基板内延伸的引线，其将所述第一电连接部件与所述辐射热计膜连接，

所述电磁波传感器具有从所述第二基板向所述第一基板延伸的第二电连接部件，

所述辐射热计膜由所述第二电连接部件以与所述第二基板隔开间隔的方式支承，所述第二电连接部件由导体形成。

2.根据权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：

所述电磁波传感器具有插入所述第二电连接部件并将所述第二电连接部件断开的电容器。

3.根据权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：

具有形成于所述第二基板的、用于从所述多个辐射热计膜中选择一个辐射热计膜的多个选择晶体管。

4.根据权利要求3所述的电磁波传感器，其特征在于：

所述选择晶体管以避开所述第二基板的与所述辐射热计膜相对的区域的方式配置。

5.根据权利要求3所述的电磁波传感器，其特征在于：

具有形成在所述第二基板的外侧表面的滤光膜，其用于使能量大于所述选择晶体管的能带隙的光衰减。

6.根据权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：

所述多个辐射热计膜至少沿第一方向以一定间隔排列成行，所述第一电连接部件位于所述多个辐射热计膜的所述行的一端侧或另一端侧，将所述第一电连接部件和最靠近所述第一电连接部件的所述辐射热计膜连接的所述引线的长度比所述间隔长。

7.根据权利要求6所述的电磁波传感器，其特征在于：

所述多个辐射热计膜沿与所述第一方向交叉的第二方向以一定间隔排列成多个列，所述多个辐射热计膜形成由多个所述行和所述多个列构成的阵列，多个所述第一电连接部件中的一部分的所述第一电连接部件交替地位于所述多个行的一端侧和另一端侧，所述多个第一电连接部件中的其余部分的所述第一电连接部件交替地位于所述多个列的一端侧和另一端侧。

8.根据权利要求7所述的电磁波传感器，其特征在于：

位于所述行的所述一端侧的多个所述第一电连接部件和位于所述行的所述另一端侧的多个所述第一电连接部件中的至少一者在所述第一方向上相互错开。

9.根据权利要求7所述的电磁波传感器，其特征在于：

位于所述列的所述一端侧的多个所述第一电连接部件和位于所述列的所述另一端侧的多个所述第一电连接部件中的至少一者在所述第二方向上相互错开。

10.根据权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：

具有位于所述辐射热计膜与所述第一基板之间的、用于使来自所述第一基板的辐射衰减的第一辐射屏蔽件。

11.根据权利要求10所述的电磁波传感器，其特征在于：

具有从所述第二基板向所述第一基板延伸的支承部件，所述第一辐射屏蔽件由所述支承部件支承。

12.根据权利要求10所述的电磁波传感器，其特征在于：

所述第一辐射屏蔽件的与所述辐射热计膜相对的面为对红外线进行反射的反射面，所述反射面与所述辐射热计膜的间隔为2～3.5μm。

13.根据权利要求1所述的电磁波传感器，其特征在于：

具有位于所述内部空间的吸气膜。