[发明专利]激光微镜阵列中的耦合和同步镜元件

权利要求书

1.一种微机电系统装置，其特征在于，被配置为在光探测和测距(LiDAR)系统中重定向光，所述微机电系统装置包括：

支撑框架；

至少两个镜元件，以端对端，纵向线性阵列的形式布置在所述支撑框架内，所述至少两个镜元件包括：

第一镜元件；以及

第二镜元件，所述第二镜元件与所述第一镜元件相邻并线性对齐；

其中，所述至少两个镜元件的每个镜元件可在旋转轴上旋转，所述旋转轴与由所述至少两个镜元件的线性阵列限定的线垂直，每个镜元件的旋转轴将对应的镜元件分为第一部分和第二部分；以及

耦合元件，所述耦合元件的远端耦合到所述第一镜元件的第一部分，所述耦合元件的近端耦合到所述第二镜元件的第二部分，其中，所述耦合元件物理耦合所述第一镜元件和第二镜元件，使得所述第一镜元件的旋转引起所述第二镜元件同步且等同地旋转，所述第二镜元件的旋转引起所述第一镜元件同步且等同地旋转；

所述支撑框架包括耦合元件支撑件，所述耦合元件支撑件在枢轴点处支撑所述耦合元件，其中，所述耦合元件在所述枢轴点处旋转，所述耦合元件在所述枢轴点处设置有致动器。

2.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，每个镜元件包括在其第一部分上的第一耦合位置和在其第二部分上的第二耦合位置，所述第一耦合位置和第二耦合位置限定了所述耦合元件被耦合到的位置，其中，所述第一耦合位置和所述第二耦合位置与相应镜元件的旋转轴等距且在相对侧上。

3.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，还包括：

一个或以上处理器；以及

由所述一个或以上处理器控制的一个或以上微机电系统引擎，并被配置为旋转所述第一镜元件和第二镜元件中的至少一个，其中，当所述一个或以上的微机电系统引擎旋转所述第一镜元件和第二镜元件中的至少一个时，所述耦合元件使所述至少两个镜元件在运动范围内同步地、机械地且等同地旋转。

4.根据权利要求3所述的微机电系统装置，其特征在于，所述运动范围包括不超过90度的旋转范围。

5.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，在公共基板上所述支撑框架、所述至少两个镜元件和所述耦合元件一起形成连续的整体结构。

6.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，还包括：

第三镜元件，所述第三镜元件与所述第二镜元件相邻并线性对齐；以及

第二耦合元件，所述第二耦合元件远端耦合到所述第二镜元件的第一部分，所述第二耦合元件近端耦合到所述第三镜元件的第二部分，从而所述耦合元件物理耦合所述第二镜元件和第三镜元件使得所述第三镜元件的旋转引起所述第一镜元件和第二镜元件同步且等同地旋转。

7.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，所述第一镜元件的所述第一部分和所述第二镜元件的所述第二部分均包括纵向通道，所述纵向通道被配置为当所述第一镜元件和所述第二镜元件旋转时，允许所述耦合元件穿过由所述第一镜元件和所述第二镜元件限定的平面。

8.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，当所述第一镜元件和所述第二镜元件旋转时，所述耦合元件弯曲。

9.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，所述耦合元件支撑件被配置为平行于所述第一镜元件和所述第二镜元件的旋转轴并且位于所述第一镜元件和所述第二镜元件之间，其中，当所述第一镜元件和所述第二镜元件旋转时，所述耦合元件在所述耦合元件支撑件上旋转。

10.根据权利要求1所述的微机电系统装置，其特征在于，所述第一镜元件通过沿所述旋转轴配置的至少一个支撑铰链连接到所述支撑框架，以便于所述第一镜元件和所述第二镜元件沿所述旋转轴的旋转。