[发明专利]模块化真空泵送和/或减排系统

权利要求书

1.模块化真空泵送和减排系统，用于从实体排放和减排气体，所述系统包括：

多个功能模块；以及

多个气体连接管线，每个气体连接管线用于输送通过其的气体流动；其中

所述多个功能模块包括：

第一模块，包括真空泵送设备，用于从所述实体泵送所述气体；以及

第二模块，包括减排设备，用于减排从所述实体泵送的所述气体；

所述第一模块在第一系统维度中定位为相邻于所述第二模块；

所述第一模块和所述第二模块每个在所述第一系统维度中具有最大大小，所述最大大小是共同固定系统值的相应整数倍数；

所述第一模块由所述多个气体连接管线中的至少一个流体连接到所述第二模块，使得所述减排设备可接收由所述真空泵送设备从所述实体泵送的所述气体；以及

所述气体连接管线中的每个包括一个或多个部段，每个部段具有的大小是所述共同固定系统值的相应整数倍数。

2.根据权利要求1所述的系统，还包括热管理系统，所述热管理系统被配置为管理所述系统内的所述气体的温度。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述热管理系统被配置为将所述系统内的所述气体的温度维持高于预限定阈值温度。

4.根据权利要求2或3所述的系统，其中：

所述热管理系统包括选自包括以下的装置群组的一个或多个装置：温度传感器、压力传感器、加热器和冷却器；

每个装置操作性地联接到所述功能模块中的一个或所述气体连接管线中的一个。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的系统，其中：

所述热管理系统在所述多个功能模块的第三模块内；

所述第三模块在所述第一系统维度中定位为相邻于所述第一模块和/或所述第二模块；以及

所述第三模块在所述第一系统维度中具有最大大小，所述最大大小是所述共同固定系统值的整数倍数。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的系统，其中，

所述第一模块在所述第一系统维度中具有最大大小，所述最大大小是所述共同固定系统值的第一整数倍数；以及

所述第二模块在所述第一系统维度中具有最大大小，所述最大大小是所述共同固定系统值的第二整数倍数，所述第二整数与所述第一整数不同。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述第一整数和所述第二整数是在2到20的范围中的整数。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的系统，其中，每个气体连接管线的长度是所述共同固定系统值的相应整数倍数。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的系统，其中，所述第一模块和所述第二模块中的每个包括：

气体连接管线输入，用于接收到该模块中的所述气体；

气体连接管线输出，用于从该模块排放所述气体；

设施连接管线输入，用于接收从设施源输送的设施；以及

框架，用于将该模块的所述真空泵送设备或所述减排设备以及该模块的所述连接管线输入和输出在该模块中定位就位。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的系统，其中，所述共同固定系统值是在10mm-5cm的范围中的值。