[发明专利]应变片有效
| 申请号: | 201880086299.3 | 申请日: | 2018-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN111587357B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
| 发明(设计)人: | 美齐津英司;足立重之;北原昂祐;浅川寿昭;北村厚 | 申请(专利权)人: | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址: | 日本长野*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 应变 | ||
1.一种应变片,包括:
树脂制的基材,具有可挠性;以及
电阻体,以α-Cr作为主成分并由Cr、CrN、Cr2N进行相混合而成的Cr混合相膜形成;以及
功能层,由金属、合金、或金属的化合物直接形成在所述电阻体的下层,
其中,在所述Cr混合相膜扩散有所述功能层中包含的Cr以外的元素,
所述功能层对所述Cr混合相膜的生长面进行限制并促进所述Cr混合相膜的晶体生长,
所述电阻体包括:
第一电阻部,形成在所述基材的预定表面上;
第二电阻部,以使栅格方向朝向与所述第一电阻部的栅格方向不同的方向的方式,形成在所述基材的所述预定表面或与所述预定表面平行的表面上;以及
第三电阻部,形成在所述基材的与所述预定表面相邻的表面上,
应变率为10以上。
2.根据权利要求1所述的应变片,其中,
与所述预定表面相邻的表面与所述预定表面之间所成的角度为钝角。
3.根据权利要求1所述的应变片,其中,
所述第一电阻部、所述第二电阻部以及所述第三电阻部被布置成使栅格方向彼此正交。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的应变片,其中,
所述电阻体包含80重量%以上的α-铬。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的应变片,还包括:
绝缘树脂层,对所述电阻体进行覆盖。
6.一种应变片,包括:
树脂制的基材,具有可挠性;以及
电阻体,以α-Cr作为主成分并由Cr、CrN、Cr2N进行相混合而成的Cr混合相膜形成;以及
功能层,由金属、合金、或金属的化合物直接形成在所述电阻体的下层,
其中,在所述Cr混合相膜扩散有所述功能层中包含的Cr以外的元素,
所述功能层对所述Cr混合相膜的生长面进行限制并促进所述Cr混合相膜的晶体生长,
所述电阻体包括:
第一电阻部,形成在所述基材的预定表面上;
第二电阻部,以使栅格方向朝向与所述第一电阻部的栅格方向不同的方向的方式,形成在所述基材的所述预定表面或与所述预定表面平行的表面上;以及
第三电阻部,形成在所述基材的与所述预定表面相邻的表面上,
电阻温度系数在-1000ppm/℃~+1000ppm/℃的范围内。
7.一种应变片,包括:
树脂制的基材,具有可挠性;以及
电阻体,以α-Cr作为主成分并由Cr、CrN、Cr2N进行相混合而成的Cr混合相膜形成;以及
功能层,由金属、合金、或金属的化合物直接形成在所述电阻体的下层,
在所述Cr混合相膜扩散有所述功能层中包含的Cr以外的元素,
所述功能层对所述Cr混合相膜的生长面进行限制并促进所述Cr混合相膜的晶体生长,
所述电阻体包括:
第一电阻部,形成在所述基材的预定表面上;
第二电阻部,以使栅格方向朝向与所述第一电阻部的栅格方向不同的方向的方式,形成在所述基材的所述预定表面或与所述预定表面平行的表面上;以及
第三电阻部,形成在所述基材的与所述预定表面相邻的表面上。
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