[发明专利]应变片有效

专利信息
申请号: 201880086299.3 申请日: 2018-11-01
公开(公告)号: CN111587357B 公开(公告)日: 2023-04-18
发明(设计)人: 美齐津英司;足立重之;北原昂祐;浅川寿昭;北村厚 申请(专利权)人: 美蓓亚三美株式会社
主分类号: G01B7/16 分类号: G01B7/16
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 吕琳;朴秀玉
地址: 日本长野*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 应变
【权利要求书】:

1.一种应变片,包括:

树脂制的基材,具有可挠性;以及

电阻体,以α-Cr作为主成分并由Cr、CrN、Cr2N进行相混合而成的Cr混合相膜形成;以及

功能层,由金属、合金、或金属的化合物直接形成在所述电阻体的下层,

其中,在所述Cr混合相膜扩散有所述功能层中包含的Cr以外的元素,

所述功能层对所述Cr混合相膜的生长面进行限制并促进所述Cr混合相膜的晶体生长,

所述电阻体包括:

第一电阻部,形成在所述基材的预定表面上;

第二电阻部,以使栅格方向朝向与所述第一电阻部的栅格方向不同的方向的方式,形成在所述基材的所述预定表面或与所述预定表面平行的表面上;以及

第三电阻部,形成在所述基材的与所述预定表面相邻的表面上,

应变率为10以上。

2.根据权利要求1所述的应变片,其中,

与所述预定表面相邻的表面与所述预定表面之间所成的角度为钝角。

3.根据权利要求1所述的应变片,其中,

所述第一电阻部、所述第二电阻部以及所述第三电阻部被布置成使栅格方向彼此正交。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的应变片,其中,

所述电阻体包含80重量%以上的α-铬。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的应变片,还包括:

绝缘树脂层,对所述电阻体进行覆盖。

6.一种应变片,包括:

树脂制的基材,具有可挠性;以及

电阻体,以α-Cr作为主成分并由Cr、CrN、Cr2N进行相混合而成的Cr混合相膜形成;以及

功能层,由金属、合金、或金属的化合物直接形成在所述电阻体的下层,

其中,在所述Cr混合相膜扩散有所述功能层中包含的Cr以外的元素,

所述功能层对所述Cr混合相膜的生长面进行限制并促进所述Cr混合相膜的晶体生长,

所述电阻体包括:

第一电阻部,形成在所述基材的预定表面上;

第二电阻部,以使栅格方向朝向与所述第一电阻部的栅格方向不同的方向的方式,形成在所述基材的所述预定表面或与所述预定表面平行的表面上;以及

第三电阻部,形成在所述基材的与所述预定表面相邻的表面上,

电阻温度系数在-1000ppm/℃~+1000ppm/℃的范围内。

7.一种应变片,包括:

树脂制的基材,具有可挠性;以及

电阻体,以α-Cr作为主成分并由Cr、CrN、Cr2N进行相混合而成的Cr混合相膜形成;以及

功能层,由金属、合金、或金属的化合物直接形成在所述电阻体的下层,

在所述Cr混合相膜扩散有所述功能层中包含的Cr以外的元素,

所述功能层对所述Cr混合相膜的生长面进行限制并促进所述Cr混合相膜的晶体生长,

所述电阻体包括:

第一电阻部,形成在所述基材的预定表面上;

第二电阻部,以使栅格方向朝向与所述第一电阻部的栅格方向不同的方向的方式,形成在所述基材的所述预定表面或与所述预定表面平行的表面上;以及

第三电阻部,形成在所述基材的与所述预定表面相邻的表面上。

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