[发明专利]探针、检查工具、检查单元和检查装置

说明书

探针具有：第1接触部和第2接触部；中间部，其配置于第1接触部和第2接触部之间；第1弹性部，其与第1接触部和中间部连接，沿着第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩；以及第2弹性部，其与中间部和第2接触部连接，沿着第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩，第1弹性部的弹簧常数构成为比第2弹性部的弹簧常数小。

技术领域

本发明涉及探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。

背景技术

在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般而言，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的FPC接触电极或所安装的基板对基板连接器等电极部和检查装置连接起来，由此进行这些检查。

作为这种探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具有能够与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子分别接触的一对触头、以及介于一对触头之间且连接一对触头的蜿蜒部。在所述探针中，通过蜿蜒部确保各触头与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子之间的接触压力，提高针对电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子的接触可靠性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-134202号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，伴随着检查对象物的多样化等，例如，为了防止检查对象物的破损等，有时要求探针以分别不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触。

在专利文献1的探针中，各触头与整体构成一个弹性部的蜿蜒部的两端部分别连接，因此，有时无法以不同的接触载荷与电子部件和被连接电子部件接触。

本发明的目的在于，提供能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。

用于解决课题的手段

本发明的一例的探针具有：板状的第1接触部和板状的第2接触部；中间部，其配置于所述第1接触部和所述第2接触部之间；第1弹性部，其与所述第1接触部和所述中间部连接，沿着连接所述第1接触部和所述第2接触部的排列方向伸缩；以及第2弹性部，其与所述中间部和所述第2接触部连接，沿着所述排列方向伸缩，所述第1弹性部的弹簧常数构成为比所述第2弹性部的弹簧常数小。

此外，本发明的一例的检查工具具有：所述探针；以及插座，其具有能够收纳所述探针的收纳部，所述插座具有卡定部，该卡定部沿着所述排列方向在从所述第2接触部朝向所述第1接触部的方向上将收纳于所述收纳部中的所述探针的所述中间部的延伸方向的两端部卡定。

此外，本发明的一例的检查单元具有至少一个所述检查工具。

此外，本发明的一例的检查装置具有至少一个所述检查单元。

发明效果

根据所述探针，构成为与第1接触部和中间部连接且沿着连接第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩的第1弹性部的弹簧常数比与中间部和第2接触部连接且沿着连接第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩的第2弹性部的弹簧常数小。由此，能够实现能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针。

此外，根据所述检查工具，利用所述探针，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查工具。

此外，根据所述检查单元，利用所述检查工具，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查单元。

此外，根据所述检查装置，利用所述检查单元，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查装置。