[发明专利]分层非接触支撑平台

权利要求书

1.一种具有工作台的非接触支撑系统，包括：

端口层，包括散布的压力端口和真空端口的图案；

压力管道层，包括压力管道的网格图案，所述压力管道的网格图案形成为机加工到平板或片材中的压力通道的网格图案，所述压力管道的网格图案能连接到压力源，每个压力端口位于轴线上的一位置处，该轴线穿过至少两个压力管道的交点并且基本上正交于在该位置处的压力管道的网格图案；

真空管道层，包括真空管道的网格图案，所述真空管道的网格图案形成为机加工到平板或片材中的真空通道的网格图案，所述真空管道的网格图案能连接到抽吸源，每个真空端口位于轴线上的一位置处，该轴线穿过至少两个真空管道的交点并且基本上正交于在该位置处的真空管道的网格图案，所述真空管道的网格图案从所述压力管道的网格图案横向偏移，使得压力管道的每个交点从所述真空管道的所有交点横向偏移；以及

检修孔，位于所述压力管道层和所述真空管道层中的每一者中，所述检修孔构造为使得当所述压力管道层中的检修孔与所述真空管道层中的检修孔对准时能够插入紧固件或传感器，以使得对准的检修孔位于由压力管道之间的两个交点和真空管道之间的两个交点所界定的区域中，移除压力管道之间的该两个交点之间的一段压力管道以及真空管道之间的该两个交点之间的正交的一段真空管道，以使得所述检修孔从所有的最近的压力管道和真空管道横向偏移。

2.根据权利要求1所述的非接触支撑系统，其中，所述检修孔定位成使得所述检修孔与最近的管道之间的横向距离大于最小距离w，其中：

并且其中，L为压力端口和最近的真空端口之间的对角线中心至中心距离，D等于或大于压力端口的直径，并且B等于或大于真空端口的直径。

3.根据权利要求1所述的非接触支撑系统，其中，所述网格图案是正方形图案。

4.根据权利要求1所述的非接触支撑系统，其中，所述压力管道层包括通向压力歧管的开口，或者所述真空管道层包括通向真空歧管的开口。

5.根据权利要求1所述的非接触支撑系统，还包括至少一个限流器层，所述至少一个限流器层包括限流器，以限制所述压力管道层和所述端口层的压力端口之间的气流。

6.根据权利要求5所述的非接触支撑系统，还包括至少一个限流器层，所述至少一个限流器层包括限流器，以限制所述真空管道层和所述端口层上的真空端口之间的气流。

7.根据权利要求1所述的非接触支撑系统，还包括用于插入所述端口层的端口中的插入件，所述插入件包括限流器。

8.根据权利要求7所述的非接触支撑系统，其中，所述限流器选自包括以下各项的限流器组：自适应分段孔口限流器、由较窄的限制段分开的多个孔段的线性布置、沿着其长度具有恒定直径的限制管、包括一个或多个收缩段的限制管以及多孔物质。

9.根据权利要求1所述的非接触支撑系统，其中，所述压力管道层或所述真空管道层中的管道之间的交点处的拐角是圆形的。