[发明专利]光学测量方法和传感器设备

权利要求书

1.一种使用光学传感器设备的光学测量方法，所述光学传感器设备包括：

光学元件，所述光学元件包括被配置成选择性地透射入射辐射的标记；

光检测器，所述光检测器被配置成接收由所述标记透射的辐射并且提供指示所接收的辐射的输出信号；以及

支撑件，所述支撑件支撑所述光学元件并且与所述光学元件成热接触，其中所述支撑件的热导率大于所述光学元件的热导率，并且其中所述支撑件的热膨胀系数大于所述光学元件的热膨胀系数，所述方法包括：

使用所述光学传感器设备执行第一测量，所述第一测量包括利用辐射照射所述标记，其中所述光学元件的温度在所述第一测量期间改变；和

完成所述第一测量，其中所述支撑件的温度在整个所述第一测量期间是大致恒定的，

其中所述光学元件具有在所述光学元件的热交换区域与所述支撑件之间延伸的长度，其中所述长度足够长使得所述支撑件的温度在整个所述第一测量期间是大致恒定的；并且

其中在所述光学元件的热交换区域与所述支撑件之间延伸的所述光学元件长度足够长使得所述支撑件的温度在正在被完成的所述第一测量的10秒内改变。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学传感器设备还包括与所述支撑件成热连通的热交换器，并且其中在所述第一测量开始时所述支撑件处于第一温度，所述方法还包括在所述第一测量完成之后、在使用所述光学传感器设备执行第二测量之前等待预定时间量，其中所述支撑件在所述预定时间量内大致返回至所述第一温度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中执行测量包括在利用辐射照射所述标记之前利用冷却设备冷却所述光学元件。

4.根据权利要求1所述的方法，其中执行测量包括在利用辐射照射所述标记期间利用冷却设备冷却所述光学元件。

5.根据权利要求1所述的方法，其中执行测量包括在利用辐射照射所述标记之后利用冷却设备冷却所述光学元件。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述热交换区域包括所述标记。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述热交换区域包括所述光学元件的、辐射入射至其上的区域。

8.根据权利要求3至5中任一项所述的方法，其中所述热交换区域包括所述光学元件的由所述冷却设备冷却的区。

9.一种光学传感器设备，包括：

光学元件，所述光学元件包括被配置成选择性地透射入射辐射的标记；

光检测器，所述光检测器被配置成接收由所述标记透射的辐射并且提供指示所接收的辐射的输出信号；以及

支撑件，所述支撑件支撑所述光学元件并且与所述光学元件成热接触，其中所述支撑件的热导率大于所述光学元件的热导率，并且其中所述支撑件的热膨胀系数大于所述光学元件的热膨胀系数，

其中所述光学传感器设备被配置成：

使用所述光学传感器设备执行第一测量，所述第一测量包括利用辐射照射所述标记，其中所述光学元件的温度在所述第一测量期间改变；和

完成所述第一测量，其中所述支撑件的温度在整个所述第一测量期间是大致恒定的，

其中所述光学元件具有在所述光学元件的热交换区域与所述支撑件之间延伸的长度，其中所述长度足够长使得所述支撑件的温度在整个所述第一测量期间是大致恒定的；并且

其中在所述光学元件的热交换区域与所述支撑件之间延伸的所述光学元件长度足够长使得所述支撑件的温度在正在被完成的所述第一测量的10秒内改变。

10.根据权利要求9所述的光学传感器设备，其中所述光学元件的热膨胀系数小于或等于所述支撑件的热膨胀系数的一半。

11.根据权利要求9所述的光学传感器设备，其中所述光学元件的热膨胀系数小于或等于所述支撑件的热膨胀系数的十分之一。