[发明专利]传感器装置和麦克风组件

权利要求书

1.一种传感器装置，所述传感器装置包括：

换能器，该换能器被配置为响应于感测到的压力变化而生成电信号，所述电信号包括频率分量；

前向路径电路，所述前向路径电路具有联接至所述换能器的输入并且被配置为接收和调节从所述换能器接收的所述电信号，并且在所述前向路径电路的输出处提供调节后的信号；

包括低通滤波器的反馈电路，所述反馈电路被配置为基于来自所述低通滤波器的低通信号来生成反馈信号；

求和节点，该求和节点被配置为在所述电信号被提供给所述前向路径电路的所述输入之前，基于所述反馈信号来衰减所述频率分量；以及

压力感测电路，该压力感测电路被配置为部分地基于来自所述反馈电路的所述低通滤波器的所述低通信号来生成输出信号，所述压力感测电路的所述输出信号表示由所述换能器感测到的亚音速压力的变化，

其中，所述换能器是微机电系统MEMS换能器。

2. 根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述换能器包括具有低于1 Hz的高通截止频率的声学滤波器。

3. 根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述反馈电路构成具有0.1 Hz量级的高通截止频率的电子滤波器的一部分。

4.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述前向路径电路包括模数转换器，所述模数转换器被配置为将所述电信号转换为数字信号，所述低通滤波器被配置为基于所述数字信号来生成所述低通信号，并且所述反馈电路包括联接到所述低通滤波器的输出的数模转换器，其中，所述数模转换器被配置为将所述反馈信号转换为模拟反馈信号。

5.根据权利要求4所述的传感器装置，其中，所述模拟反馈信号是电流信号，并且其中，所述求和节点被配置为向所述电信号添加或从所述电信号减去与所述模拟反馈信号相对应的电荷。

6.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述频率分量低于人类可听频率范围。

7.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述压力感测电路的输出包括频率范围内的低至0 Hz的频率分量。

8.根据权利要求7所述的传感器装置，其中，所述压力感测电路包括被配置为对所述低通信号进行滤波的高通滤波器，所述频率分量包括第一频率范围内的频率分量和高于所述第一频率范围的第二频率范围内的频率分量，并且其中，所述低通滤波器和所述高通滤波器具有等于所述第一频率范围内的最低频率的共同的截止频率。

9.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述前向路径电路的所述输出联接至外部接口，其中所述前向路径电路在所述外部接口处将所述调节后的信号作为音频信号输出。