[发明专利]换能器组件故障检测

权利要求书

1.一种换能器组件，所述换能器组件包括：

壳体，所述壳体包括声音端口；

微机电系统MEMS换能器，所述MEMS换能器设置在所述壳体中；以及

电路，所述电路设置在所述壳体中，所述电路电连接至所述MEMS换能器的输出端，所述电路包括信号发生器，所述信号发生器被构造为生成测试信号并将所述测试信号施加至所述MEMS换能器，所述信号发生器包括电阻器，其中，所述信号发生器被构造为通过向所述电阻器施加电力来在所述壳体内生成热声测试信号，

其中，所述测试信号引发来自所述换能器组件的响应，所述响应指示所述换能器组件的健康状况。

2.根据权利要求1所述的换能器组件，其中，所述壳体包括设置在基板上的盖子，所述基板具有外部装置接口，所述外部装置接口具有联接至所述电路的多个触点。

3.根据权利要求1所述的换能器组件，所述信号发生器包括电输出端，所述电输出端联接至所述MEMS换能器的电输入端，其中，所述信号发生器被构造为向所述MEMS换能器的电输入端施加具有已知特性的电测试信号。

4.根据权利要求3所述的换能器组件，所述MEMS换能器包括背板和振膜，并且所述电路包括具有偏压输出端的偏压电路，所述偏压输出端联接至所述MEMS换能器的偏压输入端，其中，所述信号发生器被构造为经由所述MEMS换能器的偏压输入端向所述MEMS换能器施加所述电测试信号，其中，所述电测试信号具有处于所述换能器组件的带宽内的频率。

5.根据权利要求3所述的换能器组件，其中，所述电测试信号是单一频率AC信号。

6.根据权利要求3所述的换能器组件，其中，所述信号发生器被构造为生成不同的测试信号并将所述不同的测试信号施加至所述MEMS换能器。

7.根据权利要求6所述的换能器组件，其中，所述不同的测试信号包括具有不同的频率的AC信号。

8.根据权利要求1所述的换能器组件，其中，所述电路包括：

放大器，所述放大器被构造为接收来自所述MEMS换能器的输出信号并且生成具有输出电压的放大信号；

测试负载，所述测试负载设置在所述MEMS换能器与所述放大器之间；以及

开关装置，所述开关装置被构造为在闭合状态下将所述测试负载与所述MEMS换能器和所述放大器连接起来，并且在打开状态下将所述测试负载与所述MEMS换能器和所述放大器断开，

其中，在连接所述测试负载时和断开所述测试负载时，通过对所述MEMS换能器的响应进行监测来隔离故障。

9.根据权利要求8所述的换能器组件，其中，所述信号发生器被构造为采用脉冲信号来生成电测试信号并施加所述电测试信号，所述脉冲信号适配为引发来自所述换能器组件的脉冲声响应。

10.一种集成电路，所述集成电路与换能器组件集成，所述换能器组件包括设置在壳体中的微机电系统MEMS换能器，所述集成电路包括：

输入端，所述输入端能够电连接至所述MEMS换能器的电信号输出端；测试信号发生器，所述测试信号发生器具有能够连接至所述MEMS换能器的输出端，所述测试信号发生器被构造为生成扫过不同频率的测试信号并将所述测试信号施加至所述MEMS换能器；以及

评估电路，所述评估电路能够连接至所述换能器组件的输出端，所述评估电路被构造为将由所述测试信号引发的所述换能器组件的响应与参考信息进行比较，其中，所述比较的结果指示所述换能器组件的可能故障。