[发明专利]化学品递送系统及操作所述化学品递送系统的方法

权利要求书

1.一种操作化学品递送系统的方法，所述化学品递送系统包括至少一个散装容器、至少一个运行/再填充腔室及至少一个沉积腔室，所述方法包括：

将前体存储在所述散装容器中的至少一者中；

以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到第一运行/再填充腔室；

以蒸汽形式在所述第一运行/再填充腔室中接收所述前体；

冷凝所述前体并以固体形式将所述前体存储在所述第一运行/再填充腔室中；

引起所述第一运行/再填充腔室内的所述固体前体的升华；及

以蒸汽形式将所述升华前体从所述第一运行/再填充腔室输送到第一沉积腔室。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到第二运行/再填充腔室；

以蒸汽形式在所述第二运行/再填充腔室中接收所述前体；及

冷凝所述前体并以固体形式将所述前体存储在所述第二运行/再填充腔室中。

3.根据权利要求2所述的方法，其中在所述第一运行/再填充腔室内使所述固体前体升华的同时以蒸汽形式在所述第二运行/再填充腔室中接收所述前体。

4.根据权利要求2所述的方法，其进一步包括：

引起所述第二运行/再填充腔室内的所述固体前体的升华；及

以蒸汽形式将所述升华前体从所述第二运行/再填充腔室输送到所述第一沉积腔室。

5.根据权利要求4所述的方法，其中在以蒸汽形式在所述第一运行/再填充腔室中接收所述前体的同时在所述第二运行/再填充腔室内使所述固体前体升华。

6.根据权利要求2所述的方法，其进一步包括：

引起所述第二运行/再填充腔室内的所述固体前体的升华；及

以蒸汽形式将所述升华前体从所述第二运行/再填充腔室输送到第二沉积腔室。

7.根据权利要求2所述的方法，其中以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到所述第一运行/再填充腔室与以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到所述第二运行/再填充室交替进行。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述运行/再填充腔室中的至少一者包含具有多个表面的多个间隔开的管，所述多个间隔开的管经配置以以蒸汽形式接收所述前体并以固体形式存储所述前体。

9.根据权利要求1所述的方法，其中存储在所述散装容器中的所述前体以固体形式在所述散装容器中。

10.根据权利要求1所述的方法，其中以蒸汽形式输送所述前体包括加热所述散装容器以使所述前体升华及通过加热的导管输送所述蒸汽。

11.根据权利要求1所述的方法，其中以固体形式存储所述前体包括将所述前体存储在制造区域中，及将所述前体存储在所述散装容器中包括将所述前体存储在所述制造区域之外。

12.根据权利要求1所述的方法，其中

以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到所述第一运行/再填充腔室包括加热所述散装容器并且在第一加热导管中输送所述蒸汽；

冷凝所述前体并以固体形式将所述前体存储在所述第一运行/再填充腔室中包括冷却所述第一运行/再填充腔室；及

以蒸汽形式将所述升华前体从所述第一运行/再填充腔室输送到第一沉积腔室包括加热所述第一运行/再填充腔室并且在第二加热导管中输送所述蒸汽。