[发明专利]热水车调节系统和方法

权利要求书

1.一种用于过滤器模块的调节系统，包括：

入口，所述入口是可流体地连接至超纯水源的；

热交换器，所述热交换器内衬有第一耐腐蚀材料，所述热交换器被定位在所述入口的下游；

磁悬浮泵，所述磁悬浮泵与所述热交换器流体连通；

出口，所述出口被定位在所述磁悬浮泵的下游并且是可流体地连接至所述过滤器模块的；

通道，所述通道内衬有第二耐腐蚀材料，所述通道被构造和布置成绕过所述热交换器；

控制器，所述控制器被配置成将水选择性地引导至所述热交换器或引导至所述通道，所述控制器是可编程的以响应于在所述超纯水源中的总有机碳(TOC)的浓度和在所述出口处的水中的TOC的浓度中的至少一种而起作用；以及

基座，所述基座支撑所述热交换器、所述磁悬浮泵、所述通道和所述控制器。

2.如权利要求1所述的系统，还包括入口传感器和出口传感器，所述入口传感器被配置成检测在所述超纯水源中的TOC的浓度，所述出口传感器被配置成检测在所述出口处的超纯水中的TOC的浓度，其中所述入口传感器和所述出口传感器中的至少一个被电连接至所述控制器。

3.如权利要求2所述的系统，其中所述入口传感器和所述出口传感器中的至少一个还被配置成检测10nm或更小的颗粒尺寸。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述入口是可流体地连接至所述过滤器模块的下游的。

5.如权利要求4所述的系统，其中所述过滤器模块是超滤模块。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述第一耐腐蚀材料在高达190°F的水温是稳定的。

7.如权利要求1所述的系统，其中所述第一耐腐蚀材料和所述第二耐腐蚀材料中的至少一种是含氟聚合物。

8.如权利要求7所述的系统，其中所述第一耐腐蚀材料和所述第二耐腐蚀材料中的至少一种是乙烯四氟乙烯(ETFE)、聚氟乙烯(PVF)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、全氟烷氧基烷烃(PFA)、氟化乙烯丙烯(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、乙烯氯三氟乙烯(ECTFE)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)，及其组合。

9.如权利要求1所述的系统，其中所述系统的任何金属部件基本上不含不锈钢。

10.如权利要求9所述的系统，其中所述金属部件中的至少一种包括钛、因科洛依、哈斯特洛伊耐蚀镍基合金及其组合中的至少一种。

11.如权利要求1所述的系统，其中所述系统是便携式的。

12.如权利要求1所述的系统，其中所述磁悬浮泵内衬有耐腐蚀塑料。

13.如权利要求1所述的系统，其中所述控制器还是可编程的以响应于所述过滤器模块的容量的指示来设定所述磁悬浮泵的速度。

14.一种调节过滤器模块的方法，包括：

测量在超纯水源中的总有机碳(TOC)的浓度；

将所述超纯水源加热到约170°F和约190°F之间以产生加热的水；

用所述加热的水以在约2gpm和约15gpm之间的第一流量清洗所述过滤器模块持续第一预定时间段，所述第一预定时间段足以使在所述过滤器模块的出口处的水中的TOC的浓度稳定；

用具有环境温度的所述超纯水源以在约2gpm和约40gpm之间的第二流量冲洗所述过滤器模块持续第二预定时间段，所述第二流量大于所述第一流量；以及

在用所述加热的水清洗所述过滤器模块和用处于环境温度的超纯水冲洗所述过滤器模块之间循环，直到在所述过滤器模块的所述出口处的水每升具有小于100计数的具有小于14nm的颗粒尺寸的颗粒。