[发明专利]主衍射光栅的制造装置及制造方法

说明书

一种主衍射光栅的制造装置及制造方法，所述主衍射光栅的制造装置包括光源部与反射构件(11)。光源部朝主基板(101)的基板表面照射光，由此形成第一干涉条纹。反射构件(11)使反射由主基板(101)的基板表面反射的来自光源部的光，而再次朝基板表面侧引导，由此形成第二干涉条纹。在主基板(101)的基板表面形成基于第一干涉条纹及第二干涉条纹的抗蚀剂图案。

技术领域

本发明涉及一种成为制造复制衍射光栅(replica diffraction grating)时的母模的主衍射光栅的制造装置及制造方法。

背景技术

当对衍射光栅进行量产时等，制作主衍射光栅，使用所述主衍射光栅来制作复制衍射光栅的方法广为人知(例如，参照下述专利文献1)。

当制作主衍射光栅时，首先在成为主衍射光栅的本体的主基板的基板表面形成光致抗蚀剂层，对所述光致抗蚀剂层进行曝光，由此在表面形成抗蚀剂图案。而且，将所述抗蚀剂图案作为掩模进行蚀刻，由此在基板表面形成具有火焰状(锯齿状)的光栅槽的光栅图案。其后，使金属薄膜在光栅图案上成膜，由此可制作利用所述金属薄膜来形成有光栅面的主衍射光栅。

当使用以所述方式制作的主衍射光栅来制作复制衍射光栅时，首先在主衍射光栅中的金属薄膜的表面(光栅面)形成脱模剂层，使金属薄膜在所述脱模剂层上成膜。而且，将热硬化型环氧树脂等粘合剂涂布在成为复制衍射光栅的本体的复制基板的表面，经由所述粘合剂来将复制基板粘合在形成在主衍射光栅的表面的金属薄膜。

其后，在脱模剂层中进行剥离，由此可将脱模剂层上的金属薄膜从主基板转印至复制基板，而制作复制衍射光栅。在继续制作复制衍射光栅的情况下，在主衍射光栅的表面再次形成脱模剂层，使金属薄膜在所述脱模剂层上成膜后，进行与所述相同的作业。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-215375号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

如上所述，主衍射光栅成为制造复制衍射光栅时的母模，使用主衍射光栅所制造的复制衍射光栅成为正规品。但是，也可以不使用主衍射光栅，将复制衍射光栅作为母模来对复制衍射光栅进行复制，由此制造伪造品。以往，存在针对以所述方式伪造的复制衍射光栅，无法确认是否为伪造品的问题。

本发明是鉴于所述实际情况而形成的发明，其目的在于提供一种可容易地确认复制衍射光栅是否为伪造品的主衍射光栅的制造装置及制造方法。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的主衍射光栅的制造装置是成为制造复制衍射光栅时的母模的主衍射光栅的制造装置，包括光源部与反射构件。所述光源部朝主基板的基板表面照射光，由此形成第一干涉条纹。所述反射构件使反射由所述主基板的基板表面反射的来自所述光源部的光，而再次朝所述基板表面引导，由此形成第二干涉条纹。在所述主基板的基板表面形成基于所述第一干涉条纹及所述第二干涉条纹的抗蚀剂图案。

根据此种构成，不仅使用通过朝主基板的基板表面照射光所形成的第一干涉条纹，也使用通过利用反射构件使反射由主基板的基板表面反射的光，而再次朝基板表面引导所形成的第二干涉条纹，在主基板的基板表面形成抗蚀剂图案。在将以所述方式制造的主衍射光栅作为母模来制造复制衍射光栅的情况下，若从特定方向对所述复制衍射光栅的光栅面照射特定波长的光，则与来自反射构件的反射光对应的形状的记号在特定方向上映出。因此，可根据记号是否映出，而容易地确认复制衍射光栅是否为伪造品。

(2)所述反射构件也可以配置在相对于来自所述光源部的光的光轴，沿着与第一干涉条纹延长的方向平行的方向偏离的位置。