[发明专利]用于确定流体的至少一个热特性的测量装置

权利要求书

1.一种用于确定流体的至少一个热特性的测量装置(1)，其中，所述测量装置包括热特性传感器(3)和评估单元(2)，其中，所述评估单元(2)适于根据由所述热特性传感器(3)确定的测量信号来确定所述热特性，

其中，所述热特性传感器(3)包括加热器(4、4')、第一温度传感器(5、5')和第二温度传感器(6、6')；

其中，所述热特性传感器(3)包括具有开口(8)的安装板(7)，

其中，所述加热器(4、4')、所述第一温度传感器(5、5')和所述第二温度传感器(6、6')被布置在所述开口(8)上方或内部；

其中，加热器(4、4')和第二温度传感器(6、6')一起被定位于在所述开口上方或内部，以及

其中，所述第一温度传感器(5、5')被定位成距所述加热器(4、4' )第一距离，其中，所述第一距离为至少20μm，

其特征在于：所述第一温度传感器(5')和所述第二温度传感器(6')被设置为所述加热器(4')的框架结构，其中，所述第二温度传感器(6')是围绕所述加热器(4')的第二框架状设计，并且其中，所述第一温度传感器(5')是围绕所述第二温度传感器(6')的第一框架状设计，其中，所述第一框架状设计与所述第二框架状设计之间隔开。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于：所述第一距离为至少45μm。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于：所述第一距离为50-200μm。

4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于：所述热特性是体积热容和热导率。

5.根据权利要求1-4中的任意一项所述的测量装置，其特征在于：所述安装板(7)包括在第一平面(10)上延伸的主表面，并且其中，所述开口(8)限定了所述开口(8)平行于所述第一平面(10)的最大横截面宽度(9)和所述开口(8)垂直于所述第一平面(10)的深度，其中，所述深度小于所述开口(8)的最大横截面宽度(9)。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于：所述开口(8)垂直于所述第一平面(10)的所述深度比所述开口(8)的最大横截面宽度(9)小至少3倍。

7.根据权利要求1-4中的任意一项所述的测量装置，其特征在于：所述安装板(7)包括至少一个闭合的侧表面。

8.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于：所述侧表面在垂直于第一平面(10)的方向上延伸。

9.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于：所述安装板(7)包括至少一个闭合的侧表面。

10.根据权利要求9所述的测量装置，其特征在于：所述侧表面在垂直于所述第一平面(10)的方向上延伸。

11.根据权利要求1-4中的任意一项所述的测量装置，其特征在于：所述安装板(7)具有环形形状。

12.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于：所述安装板(7)具有环形形状。

13.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于：所述开口(8)在所述第一平面(10)处的表面小于所述安装板(7)的所述主表面的60％。

14.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于：所述开口(8)在所述第一平面(10)处的表面小于所述安装板(7)的所述主表面的40％。

15.根据权利要求1-4中的任意一项所述的测量装置，其特征在于：所述热特性传感器(3)能够在至少两个角激励频率下运行，其中，第一角激励频率为150-200rad/s，并且第二角激励频率为所述第一角激励频率的至少两倍高。