[发明专利]改进的安瓿汽化器和器皿

权利要求书

1.一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件，所述汽化器组合件包括：

多器皿主体组合件，其包含至少第一和第二纵向附接的器皿主体，所述器皿主体具有共同纵向轴线且界定所述多器皿主体组合件的内部体积，所述器皿主体中的每一个具有由侧壁和器皿主体边沿开口界定的内部体积，所述器皿主体中的每一个具有所述器皿主体的内径且具有内部侧壁表面；

基座部件，其安置于所述第一器皿主体下方且封闭所述第一器皿主体的底部开口；

盖部件，其安置于所述第二器皿主体的所述边沿开口上，所述第二器皿主体安置于所述第一器皿主体的所述边沿开口上；

气体入口和气体出口，其经布置成与所述多器皿主体组合件的所述内部体积流体连通，所述气体入口适于将第一气体供应到所述多器皿主体组合件的所述内部体积；以及

多个通风支撑托盘，其具有托盘圆周侧壁，所述托盘圆周侧壁安置于所述内部体积内且与所述多器皿主体组合件的内径接触，所述多个通风支撑托盘包含第一组托盘，所述第一组托盘安置于所述第一器皿主体内且在安置于所述第二器皿主体内的第二组托盘下方，其中所述第一组托盘中的每一个具有大于所述第二组托盘的第二托盘侧壁高度的第一托盘侧壁高度，所述多个所述支撑托盘适于支撑在所述气体入口与所述气体出口之间延伸的流动路径中的可汽化的源材料，其中所述第一托盘侧壁高度至少是所述第二托盘侧壁高度的3倍，且所述汽化器组合件具有90％的利用率。

2.根据权利要求1所述的汽化器组合件，其中所述第二器皿主体包含下部基座边沿，所述下部基座边沿经配置以与所述第一器皿主体的上部边沿开口配合。

3.根据权利要求1所述的汽化器组合件，其中所述第一器皿主体具有大于所述第二器皿主体的纵向高度的纵向高度。

4.根据权利要求1所述的汽化器组合件，其中所述第一器皿主体的第一纵向高度等于所述第二器皿主体的纵向高度。

5.根据权利要求1所述的汽化器组合件，其中所述第一托盘侧壁高度小于所述第二托盘侧壁高度。

6.一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件，所述汽化器组合件包括：

器皿主体，其具有由侧壁和器皿主体边沿开口界定的内部体积；

基座部件，其安置于所述器皿主体下方且封闭所述器皿主体的底部开口；

盖部件，其安置于所述器皿主体的所述边沿开口上；

气体入口和气体出口，其经布置成与所述器皿主体的所述内部体积流体连通，所述气体入口适于将第一气体供应到所述器皿主体的所述内部体积；以及

多个通风支撑托盘，其具有托盘圆周侧壁，所述托盘圆周侧壁安置于所述内部体积内且与所述器皿主体的内径接触，所述多个通风支撑托盘包含安置于所述第一器皿主体内的第一组托盘，所述多个所述支撑托盘适于支撑在所述气体入口与所述气体出口之间延伸的流动路径中的可汽化的源材料，其中安置于所述基座部件附近的至少一个支撑托盘包含安置于所述至少一个支撑托盘的外表面周围的O形环。

7.根据权利要求6所述的汽化器组合件，其中所述多个支撑托盘包含安置于所述器皿主体内在所述第一组托盘上方的第二组托盘，所述第一组托盘中的每一个具有大于所述第二组托盘的第二托盘侧壁高度的第一托盘侧壁高度。

8.根据权利要求6所述的汽化器组合件，其中所述支撑托盘中的每一个包含抗腐蚀涂层，所述抗腐蚀涂层选自由以下各项组成的群组：金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物，以及分层堆放在一起的这些膜的组合。