[发明专利]光波导上的抗反射涂层

权利要求书

1.一种抗反射波导，包括：

具有第一表面和第二表面以及第一折射率的第一平面波导基底，其中所述第一平面波导基底被配置为在基本上第一方向上传播光，其中所述第一平面波导基底的所述第一表面和所述第二表面被设置在所述第一平面波导基底的相反两侧上；

设置在所述第一平面波导基底的所述第一表面上的多个衍射光学元件，用于使光在与所述第一方向基本正交的第二方向上离开所述第一平面波导基底朝向观看者衍射，在与所述第一方向基本正交的第三方向上远离所述观看者衍射到所述第一平面波导基底中，并且所述光的一部分在所述基本上第一方向上通过全内反射在所述多个衍射光学元件和抗反射涂层之间继续传播；

设置在所述第一平面波导基底的所述第二表面上的所述抗反射涂层，通过所述抗反射涂层，在所述第三方向上折射的所述光离开所述第一平面波导基底，其中所述抗反射涂层增加所述光通过所述第一平面波导基底的所述第二表面的透射；以及

具有第一表面和第二表面以及所述第一折射率的第二平面波导基底，其中所述第二平面波导基底的所述第一表面和所述第二表面设置在所述第二平面波导基底的相反两侧上，其中所述抗反射涂层减少从所述第一平面波导基底的所述第二表面的光的反射，并且增加通过所述第一平面波导基底的所述第二表面进入所述第二平面波导基底中的光的透射。

2.根据权利要求1所述的抗反射波导，其中，所述通过全内反射传播的光包括s偏振分量和p偏振分量。

3.根据权利要求2所述的抗反射波导，其中，所述抗反射涂层被配置为减小所述s偏振分量和所述p偏振分量之间的相位延迟，使得通过波导的所述s偏振分量的入射角与所述p偏振分量的入射角基本相似。

4.根据权利要求1所述的抗反射波导，其中，至少97％的光透射通过所述第一平面波导基底的所述第二表面。

5.根据权利要求2所述的抗反射波导，其中，所述第一平面波导基底是玻璃，并且所述抗反射涂层包括MgF₂层。

6.根据权利要求5所述的抗反射波导，其中，所述MgF₂层具有75nm至125nm之间的厚度。

7.根据权利要求5所述的抗反射波导，其中，所述抗反射涂层还包括SiO₂层。

8.根据权利要求6所述的抗反射波导，其中，所述MgF₂层紧邻所述第一平面波导基底的所述第二表面设置。

9.根据权利要求7所述的抗反射波导，其中，所述SiO₂层被设置在所述MgF₂层上。

10.根据权利要求9所述的抗反射波导，其中，所述抗反射涂层的总折射率具有小于5×10^-4的虚折射率分量值。

11.根据权利要求9所述的抗反射波导，其中，所述抗反射涂层的总折射率具有5×10^-4至1×10^-3之间的虚折射率分量值。

12.根据权利要求2所述的抗反射波导，其中，所述抗反射涂层包括在第一材料和第二材料之间交替的少于八个层。

13.根据权利要求12所述的抗反射波导，其中，所述抗反射涂层由四个层组成。

14.根据权利要求12所述的抗反射波导，其中，所述第一材料具有与所述第二材料相比较高的折射率。

15.根据权利要求12所述的抗反射波导，其中，所述第一材料是TiO₂。