[发明专利]含碳覆层在保护无源电气构件免受氨侵蚀中的应用和设施有效
申请号: | 201880079223.8 | 申请日: | 2018-10-23 |
公开(公告)号: | CN111448337B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 迪尔克·扎尔茨;安德烈亚斯·斯特克;马尔特·伯查特;弗朗茨-约瑟夫·韦斯特曼;斯特凡·迪克霍夫;克里斯托夫·雷古拉;克里斯托弗·德勒;拉尔夫·维尔肯 | 申请(专利权)人: | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;H01F5/06;H01F41/12;C23C28/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;蒋静静 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 覆层 保护 无源 电气 构件 免受 侵蚀 中的 应用 设施 | ||
1.含碳覆层在保护无源的电气构件免受氨侵蚀中的一种应用,其中所述含碳覆层是等离子体聚合物的并且包括硅的金属有机覆层,并且,分别借助于XPS测量并且按借助XPS所检测到的原子计,所述含碳覆层在距所述覆层的背离构件的一侧80nm的深度中测量包括2至50原子%的碳份额以及≥10原子%的金属连同硅的份额。
2.根据权利要求1所述的应用,其中按借助于XPS在所述覆层的背离构件的一侧的表面上测量到的总的碳份额计,在所述表面上测量,所述含碳覆层包含用于等离子体聚合物覆层的≤10原子%的碳作为可皂化基团的成分。
3.根据权利要求1或2所述的应用,其中在所述电气构件和所述含碳覆层之间设置有中间层。
4.根据权利要求3所述的应用,其中所述中间层选自陶瓷层。
5.根据权利要求4所述的应用,其中所述中间层基于TiO2,SiO2,Al2O3,TixNy或BN。
6.根据权利要求4所述的应用,其中所述中间层是阳极氧化层。
7.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述无源的电气构件的表面由铜、铝或包含铜和/或铝的合金构成。
8.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述无源的电气构件是线圈、电阻器或电容器。
9.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述含碳覆层具有≥2.5%的裂纹伸长率。
10.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述含碳覆层具有借助于纳米压痕法待测量的在2至6GPa的范围中的硬度。
11.根据权利要求10所述的应用,其中所述含碳覆层具有借助于纳米压痕法待测量的在3.1至6GPa的范围中的硬度。
12.根据权利要求3所述的应用,其中
按包含在所述覆层中的碳原子、硅原子和氧原子的总数计,通过借助于XPS的测量,在距所述含碳的、等离子体聚合物的覆层的背离所述中间层的一侧80nm的深度中可确定的份额包括:5至40原子%的硅和/或30至70原子%的氧。
13.根据权利要求12所述的应用,其中硅的份额为20至32原子%,和/或氧的份额为40至64原子%。
14.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述含碳覆层具有100nm至100μm的厚度。
15.根据权利要求14所述的应用,其中所述含碳覆层具有200nm至50μm的厚度。
16.根据权利要求15所述的应用,其中所述含碳覆层具有500nm至10μm的厚度。
17.根据权利要求3所述的应用,其中所述含碳覆层
- 具有≥2.5%的裂纹伸长率,
- 具有借助于纳米压痕法待测量的在2至6GPa的范围中的硬度,
- 按包含在所述覆层中的碳原子、硅原子和氧原子的总数计,通过借助于XPS的测量,在距所述含碳的、等离子体聚合物的覆层的背离所述中间层的一侧80nm的深度中可确定的份额包括:5至40原子%的硅和/或30至70原子%的氧,并且
- 具有100nm至100μm的厚度。
18.根据权利要求1或2所述的应用,其中在所述电气构件和所述含碳覆层之间设置有中间层,并且其中所述中间层包含交联的和/或未交联的油。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的