[发明专利]含碳覆层在保护无源电气构件免受氨侵蚀中的应用和设施有效

专利信息
申请号: 201880079223.8 申请日: 2018-10-23
公开(公告)号: CN111448337B 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 迪尔克·扎尔茨;安德烈亚斯·斯特克;马尔特·伯查特;弗朗茨-约瑟夫·韦斯特曼;斯特凡·迪克霍夫;克里斯托夫·雷古拉;克里斯托弗·德勒;拉尔夫·维尔肯 申请(专利权)人: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;H01F5/06;H01F41/12;C23C28/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;蒋静静
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 覆层 保护 无源 电气 构件 免受 侵蚀 中的 应用 设施
【权利要求书】:

1.含碳覆层在保护无源的电气构件免受氨侵蚀中的一种应用,其中所述含碳覆层是等离子体聚合物的并且包括硅的金属有机覆层,并且,分别借助于XPS测量并且按借助XPS所检测到的原子计,所述含碳覆层在距所述覆层的背离构件的一侧80nm的深度中测量包括2至50原子%的碳份额以及≥10原子%的金属连同硅的份额。

2.根据权利要求1所述的应用,其中按借助于XPS在所述覆层的背离构件的一侧的表面上测量到的总的碳份额计,在所述表面上测量,所述含碳覆层包含用于等离子体聚合物覆层的≤10原子%的碳作为可皂化基团的成分。

3.根据权利要求1或2所述的应用,其中在所述电气构件和所述含碳覆层之间设置有中间层。

4.根据权利要求3所述的应用,其中所述中间层选自陶瓷层。

5.根据权利要求4所述的应用,其中所述中间层基于TiO2,SiO2,Al2O3,TixNy或BN。

6.根据权利要求4所述的应用,其中所述中间层是阳极氧化层。

7.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述无源的电气构件的表面由铜、铝或包含铜和/或铝的合金构成。

8.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述无源的电气构件是线圈、电阻器或电容器。

9.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述含碳覆层具有≥2.5%的裂纹伸长率。

10.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述含碳覆层具有借助于纳米压痕法待测量的在2至6GPa的范围中的硬度。

11.根据权利要求10所述的应用,其中所述含碳覆层具有借助于纳米压痕法待测量的在3.1至6GPa的范围中的硬度。

12.根据权利要求3所述的应用,其中

按包含在所述覆层中的碳原子、硅原子和氧原子的总数计,通过借助于XPS的测量,在距所述含碳的、等离子体聚合物的覆层的背离所述中间层的一侧80nm的深度中可确定的份额包括:5至40原子%的硅和/或30至70原子%的氧。

13.根据权利要求12所述的应用,其中硅的份额为20至32原子%,和/或氧的份额为40至64原子%。

14.根据权利要求1或2所述的应用,其中所述含碳覆层具有100nm至100μm的厚度。

15.根据权利要求14所述的应用,其中所述含碳覆层具有200nm至50μm的厚度。

16.根据权利要求15所述的应用,其中所述含碳覆层具有500nm至10μm的厚度。

17.根据权利要求3所述的应用,其中所述含碳覆层

- 具有≥2.5%的裂纹伸长率,

- 具有借助于纳米压痕法待测量的在2至6GPa的范围中的硬度,

- 按包含在所述覆层中的碳原子、硅原子和氧原子的总数计,通过借助于XPS的测量,在距所述含碳的、等离子体聚合物的覆层的背离所述中间层的一侧80nm的深度中可确定的份额包括:5至40原子%的硅和/或30至70原子%的氧,并且

- 具有100nm至100μm的厚度。

18.根据权利要求1或2所述的应用,其中在所述电气构件和所述含碳覆层之间设置有中间层,并且其中所述中间层包含交联的和/或未交联的油。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会,未经弗劳恩霍夫应用研究促进协会许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880079223.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top