[发明专利]电声谐振器装置及其制造方法

权利要求书

1.一种电声谐振器装置，包括：

衬底(100)；

底部电极(121)、顶部电极(122)和压电层(130)，所述压电层被设置在所述底部电极和所述顶部电极之间；

布拉格镜元件(110)，被设置在所述底部电极和所述衬底之间；以及

导热材料，包括非晶态氮化铝和多晶氮化铝(150、151、155)之一，其中所述导热材料接触所述压电层和所述衬底。

2.根据权利要求1所述的电声谐振器装置，其中所述导热材料(151)进一步被设置在所述布拉格镜元件(110)的底部侧壁与所述衬底(100)之间。

3.根据权利要求1或2所述的电声谐振器装置，还包括：覆盖被设置在所述顶部电极之上的腔(160)的包覆层(165)；以及覆盖所述包覆层的密封层(165)，其中所述导热材料(155)进一步被设置在所述密封层之上。

4.根据权利要求3所述的电声谐振器装置，其中所述导热材料(150)进一步被设置在所述压电层(130)与所述包覆层(165)的下端(1652)和所述密封层(166)的下端(1661)中的至少一个之间。

5.根据权利要求3或4所述的电声谐振器装置，其中所述导热材料(150、151、155)以连续材料的形式延伸，所述连续材料与所述顶部电极和所述底部电极(121、122)的表面中的每一个、所述布拉格镜元件(110)以及所述密封层和所述包覆层(165、166)接触。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的电声谐振器装置，其中通孔(201)被包括在所述导热材料(155)中，并且由导电材料制成的至少一个凸块(202)被设置在所述通孔的上端处，所述至少一个凸块连接到所述顶部电极和所述底部电极(122)中的一个，以提供到所述电声谐振器装置的外部的电端子。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电声谐振器装置，所述布拉格镜(110)元件包括电介质材料(111)和两层或更多层的另一材料(112、113)，所述两层或更多层的另一材料(112、113)的声阻抗高于所述电介质材料的声阻抗，其中具有较高声阻抗的所述两层或更多层的另一材料(112、113)彼此间隔开，其中所述电介质材料(111)被设置在具有较高声阻抗的所述另一材料之间，所述电介质材料具有侧壁(113)，所述侧壁(113)在与所述衬底(100)成横向的方向上延伸，其中所述电介质材料的所述侧壁接触所述导热材料(150)。

8.根据权利要求7所述的电声谐振器装置，其中所述布拉格镜元件的具有较高声阻抗的所述另一材料(112、113)包括金属，并且所述电介质材料(113)包括氮化铝。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的电声谐振器装置，还包括被设置在所述顶部电极的顶部上、用于调整、修整和钝化中的至少一项的非晶态氮化铝和多晶氮化铝(125)之一的层。

10.根据权利要求1所述的电声谐振器装置，包括：

第一非晶态氮化铝层(151)，被设置在所述衬底(100)上；

所述布拉格镜元件(110)叠层，被设置在所述第一非晶态氮化铝层(151)上；

底部电极(121)，被设置在所述布拉格镜元件上；

第二非晶态氮化铝层(150)，被设置为围绕所述布拉格镜元件的侧壁(113)；

被设置在所述底部电极(121)上的所述压电层(130)以及被设置在所述压电层上的所述顶部电极(122)；

第三非晶态氮化铝层(150)，被设置为围绕所述顶部电极(122)的侧壁；

被设置在所述顶部电极(122)之上的腔(160)和被设置在所述腔之上的包覆层(165)和密封层(166)；

第四非晶态氮化铝层(155)，被设置为围绕所述密封层的侧壁并且被设置在所述密封层的所述侧壁上。